等離子體降解有機廢氣是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和百廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到分解污染物的目的。

等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由度基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應，最終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣的目的。 適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫(yī)藥等行業(yè)。 占地面積小；電子能量高，幾內(nèi)乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；運行費用低；反應快、停止十分容迅速，隨用隨開。但 一次性投資稍高，有些企業(yè)就難以接受，但從長遠角度看，這樣的技術(shù)儀器是不錯的。