這么高的濃度，如果直接用冷凝，所需能耗會(huì)非常高，來而如果直接使用吸附工藝，又不能自滿足精度需求，最好的辦法2113是先通過冷凝將大部分的二氯甲烷去除，再過吸附系統(tǒng)，目前性價(jià)比最高的吸附材料為5261樹脂。比如要求出口在200ppm以內(nèi)，而樹脂的吸附4102效率在99%，可使用冷凝系統(tǒng)降溫使含量將至20000，再過1653樹脂吸附系統(tǒng)。
參考資料

什么叫等離子體氣體處理法

等離子體 是指一種有電子，離子，自由基同時(shí)存在的高能狀態(tài)。主要可以有氧氣，二氧化碳，氬氣，氨氣，氮?dú)獾阮悇e，當(dāng)處于高能態(tài)的氣體流接觸到改性材料的表面，會(huì)引起材料表面的物理和化學(xué)的變化，物理變化主要是刻蝕變化，化學(xué)的有交聯(lián)，表面產(chǎn)生活性基團(tuán)的變化。 因?yàn)樘幚砗蟊砻娴墓撸欠€(wěn)定性減低，所以容易引發(fā)進(jìn)一步的自由基聚合。