吸附法 ：凈化氣態污染物是指利用固體吸附劑對氣體混合物中各組分吸附選擇性的不同而分離氣體混合物的方法。吸附過程是一個濃縮過程，氣態污染物通過吸附作用被濃縮到吸附劑表面上后再進行后續處理。吸附劑主要以活性炭為主。
膜分離技術 ：膜分離有機蒸氣回收系統是通過溶解-擴散機理來實現分離的。氣體分子與膜接觸后，在膜的表面溶解，進而在膜兩側表面就會產生一個濃度梯度，因為不同氣體分子通過致密膜的溶解擴散速度有所不同，使得氣體分子由膜內向膜另一側擴散，最后從膜的另一側表面解吸，最終達到分離目的。
催化燃燒：有機廢氣在進入反應器之前，要在預熱室中的加熱，因為有機廢氣溫度低于100℃時，濃度低，熱量不能自給。燃燒凈化后，與未處理的廢氣進行熱交換，回收部分的熱量。煤氣或電加熱是該工藝常用的方法，加熱到催化反應所需的點火溫度。
生物過濾工藝 ：生物過濾工藝系統通過氣體輸送裝置，噴淋裝置和過濾塔主體三個部分組合而成。揮發性有機化合物通過加壓預濕，在過濾塔內與填料層表面的生物膜相接觸，揮發性有機物從氣相轉移到生物膜，進而被微生物分解利用，并且被轉化成二氧化碳，水和其他的分子物質，然后將凈化后的氣體排出。噴淋裝置定期向填料層噴灑噴淋液，以調節填料層的水分含量、pH 值和營養鹽含量。
等離子體工藝 ：用于處理揮發性有機物的主要是電暈放電，主要的降解機制如下：在施加的電場下，在電極空間中的電子獲得了能量并開始加速。運動的過程中的電子與氣體分子相互碰撞，使氣體分子被激發、電離或吸附電子成為負離子。電子的碰撞過程將出現三種情況，一是電離中性氣體分子產生離子及衍生電子，產生的衍生電子又加入到電離電子的行列中，維持放電；二是和高電子親和力的分子（如O2，H2O等）發生碰撞，吸收形成負離子；三是和一些氣體分子碰撞后使分子被激發，激發態分子是非常不穩定的，很快就返回到基態，并輻射出光子。當有足夠的能量的光子照射，導致光電離產生光電子，光電子利于維持放電。電子碰撞后的氣體分子，形成一種高活性的粒子，這些活性粒子對揮發性有機物分子的降解、氧化成無毒無害的物質，如二氧化碳，水。