等離子廢氣處理設備運用低溫等離子體分解掉油霧、有機廢氣等環境污染物質時，等離子體中的高能離子起關鍵性的功用。流星雨壯的高能離子與物質內分子結構（工作原理）出現非彈性碰撞，將能量變為基態分子結構（原子）的內能，出現激發、離解、電離等一連串化學反應使環境污染物質居于活化狀態。環境污染節制在等離子體的功用下‘產生活性自由基’活化后的空氣污染物分子結構歷經等離子體定向連化學反應后被脫除。當離子均值能量高于環境污染物質中化學鍵結合能時，分子結構鍵斷裂，環境污染物質分解掉，并在等離子發生器吸附場的功用下被收集。在低溫等離子體中，將會出現各種的化學反應，這關鍵在于等離子的均值能量、離子密度、氣體溫度、空氣污染物物質內分子結構濃度及并存的物質成分對氣態有機空氣污染物的降解工作原理 。

有充足的能量來產生自由基，造成一連串繁雜的物理、化學反應。由低溫等離子體造成的氣體有機物化學反應是在氣相中完成的電離、離解、激發、原子、分子結構間的互相相結合及加成反應。這些能量能夠使大部分氣態有機物中的化學鍵出現斷裂，最后使其降解。

從凈化空氣效果確定，我們選用了電暈電流較高化機器設備運用脈沖電暈放電低溫等離子體與吸附技術相結合的工作原理對有毒氣體完成消除，另外低溫等離子體關鍵用于去掉硫化氫、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、丙酮、尿烷、樹脂、等氣體及消毒殺菌，吸附原材料主要用于去掉二氧化碳和臭氧等副產物。凈化機器設備由初濾單元、低溫等離子體發生器及過濾單元、風機等機器設備和零部件組合而成。

初級電子在電場中得到加速，碰撞氣體中的氧分子。當能量高于氧分子的電離電位時氧分子基于另一個中性分子結構相結合成為負極性氧離子（02-），效果是氧離子的兩極分化并吸附中性氧分子產生02+、02-、02等氧聚集的離子群，擁有很強的氧化性，科在很短的期限內將空氣污染中的有害成份氧化分解掉為健康的物質和水。

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