空氣分離的工藝過程包括哪些系統？
大氣通過自潔式空氣過濾器被空壓機吸入。壓縮空氣冷卻后進入預冷系統冷卻，送入分子篩純化器去除掉空氣中的二氧化碳和碳氫等有害雜質。清潔空氣然后送入冷箱，進入主換熱器被反流氣體冷卻到流程所需的溫度。一部分冷卻后的空氣進入膨脹機膨脹制冷。膨脹后的空氣進入分流塔，或主換熱器復熱。剩余空氣進入分流塔進行低溫分離。分離后的氧氣、氮氣和廢棄經主換熱器復熱后出冷箱。廢氣出冷箱后進純化器再生分子篩，還有一部分廢氣進預冷系統提供冷量
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