低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有極強潛在優勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。

低溫等離子凈化器去除污染物的原理：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。傳統的廢氣處理方法會受到很多條件的限制，但是使用低溫等離子進行廢氣處理受到的限制就會相對少很多，同時它還具有很多潛在的優勢。低溫等離子凈化器在進行工作的時候，它主要采用到了的吸附、分解、碳化的方式，離心式抽風機的安裝和新的工藝技術的應用讓等離子凈化器具有著多的優點，它也是一種干法處理廢氣的設備。等離子凈化器在工業中的應用改變了活性炭材料的工藝和技術，在使用的時候換維護都會方便一些。