(1)蒸氣熄焦：將剛生產出的紅焦(溫度為1000±50℃)裝入密閉的熄焦爐中，在熄焦爐底部的供氣裝置中通入含有少量焦化污水的蒸汽，溫度為100-150℃，蒸汽在熄焦爐內上升，和紅焦換熱，紅焦溫度逐漸下降至150-200℃，排出熄焦爐，而蒸汽溫度則逐漸上升至800-900℃，自熄焦爐中部排出,熄焦爐上部需要預留一定量的紅焦，使熄焦過程能夠連續進行;(2)對蒸汽第一次除雜質：將上述步驟(1)中熄焦爐排出的蒸汽進行除塵，分離掉蒸汽中夾帶的焦粒;

(3)為了防止蒸汽中含有濃度較高的可燃氣，在氣化爐當氣化劑過程中和氧氣混合時產生危險，向蒸汽中通入少量氧氣或空氣(根據氣化爐產氣成分要求和裝置實際情況而定)，燃燒掉在熄焦過程中產生的可燃氣體，此時蒸汽溫度上升至900-1000℃;

(4)蒸汽降溫：向上述步驟(3)中處理后的高溫蒸汽中通入焦化污水，使焦化污水蒸發，同時降低蒸汽溫度(至<200℃)，增加蒸汽量;

(5)對蒸汽第二次除雜質：將上述步驟(3)中處理后的蒸汽進行除塵，分離掉蒸汽中夾帶的焦粉，經過處理的蒸汽，溫度為150-200℃;

(6)為了保證蒸汽有足夠的壓頭輸送和進行循環給焦炭降溫，必須在蒸汽管道上設增壓機，經過增壓后，一部分蒸汽回流到步驟(1)中參與熄焦循環，剩余部分蒸汽通入氣化爐做為氣化劑使用。

焦化污水由于含有大量雜質和油污，在熄焦前必須經過隔油、浮選和砂石過濾等物理凈化工序，去除污水中的雜物，防止堵塞噴頭和污染焦炭，同時，由于污水是在蒸汽進行燃燒完以后進入降溫塔的，要求污水中的可燃物質濃度，在爆炸極限以下，防止外送蒸汽含可燃氣濃度高于爆炸極限，在氣化爐中發生危險。

含酚、苯、氨等有機雜質的污水，經過熄焦爐內的紅焦層，燃燒室，氣化爐的燃燒層這三處高溫區域，溫度都超過了1000攝氏度，有機毒物可完全分解，達到無害化處理。

在燃燒室后的管道上和降溫塔后的管道上配套可燃氣體濃度和氧氣濃度在線監測裝置，監控可燃氣濃度，降至爆炸極限以下即可進入下一環節，防止發生危險。

熄焦過程靠水蒸汽降低焦炭溫度，由于水蒸氣是惰性氣體，對提高焦炭質量的貢獻和干熄焦工藝基本是一樣的。