等離子利用極不均勻電場，形成電暈放電，產生等離子體，其中包含的大量電子和正負離子在電場梯度的作用下，與空氣中的顆粒污染物發生非彈性碰撞，從而附著在上面，使之成為荷電離子，在外加電場力的作用下，被集塵極所收集。
UV光解經過UV紫外光束區時，被紫外光波高能高效率地照射，瞬間產生光解反應，打開廢氣和臭味污染物分子的化學鍵，破壞其分子結構和核酸；利用高能紫外光波分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，使呈游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物。