半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備PFA管道(半導(dǎo)體濕法清洗工藝)
一、芯片濕法清洗設(shè)備如何調(diào)試?
硫酸煮沸,無水乙醇寖泡,丙酮寖泡,清水噴淋,甩干.加溫軌道烘干。調(diào)轉(zhuǎn)速和時間和溫度。
二、管道清洗設(shè)備的方法?
1.長期使用管道使管道內(nèi)的油泥、銹垢固化造成管徑變小。
2.管內(nèi)淤泥沉淀產(chǎn)生硫化氫氣體造成環(huán)境污染并易引起燃爆。
3.廢水中的酸、堿物質(zhì)易對管道壁產(chǎn)生腐蝕。
4.管道內(nèi)的異物將會造成管道堵塞。
5.管道原材料鋼管、鋼板、不銹鋼等在軋制時會形成軋皮,管道儲運及安裝過程中會形成鐵銹、焊渣和涂覆在管道上的油質(zhì)防銹劑,保溫材料等雜質(zhì)。上述雜質(zhì)嚴(yán)重影響管道的正常使用,因此對進行管道清洗,使管道內(nèi)恢復(fù)材質(zhì)本身表面十分重要。管道清洗后會在干凈的金屬表面形成一層致密的化學(xué)鈍化膜,鈍化膜可以有效的防止污垢的再次產(chǎn)生有效的對設(shè)備進行保護,保證設(shè)備的安全性和延長設(shè)備的使用壽命
三、半導(dǎo)體清洗設(shè)備全球排名?
全球清洗設(shè)備市場中,日系企業(yè)占據(jù)絕對的主導(dǎo)地位,迪恩士(DNS,SCREENSemiconductorSolutionsCo.,Ltd.)市場份額大約為60%、東京電子(TokyoElectron)大約為30%,其他企業(yè)如美國LamResearch、韓國SEMES和KCTECH等,后二者主要供給韓國市場。
四、什么是濕法設(shè)備?
濕法設(shè)備簡單來說,指芯片制造環(huán)節(jié)大概可以分為晶圓制造、曝光、刻蝕、清洗,濕法設(shè)備主要負(fù)責(zé)的就是“清洗”。
濕法制粒機用以將潮濕的粉料研制成所需的顆粒,也可將塊狀的干料粉碎到所需的顆粒。主要特點是篩網(wǎng)裝拆簡易,還可適當(dāng)調(diào)節(jié)松緊。
五、pfa管道與閥門的幾種連接方式?
告訴我焊接方式時是什么類型的閥門方可?螺紋連接閥門必須在關(guān)閉狀態(tài) 道理很簡單,如不關(guān)閉在連接管道時力度掌握不夠容易伸進閥體內(nèi)部,導(dǎo)致閥門無法關(guān)閉到位。
六、怎樣清洗純凈水設(shè)備的管道?
可以按照《給水排水管道工程施工與驗收規(guī)范》里面的做法,其中對于給水管道,需要試壓,然后需要用含有消毒劑的水浸泡24小時,再就是用清水沖洗,知道沖出來的水里面沒有消毒劑成分,那就是沖洗干凈了。
七、純化水設(shè)備管道有哪些清洗方法?
純化水管道的清洗方法主要還是以氫氧化鈉配合純化水沖洗為主,也有的用弱酸弱堿來清洗。
八、干法清洗和濕法的區(qū)別?
(1)工藝不同
濕法化學(xué)清洗時間和化學(xué)溶劑對工藝靈敏,干法清洗工藝過程更容易控制。
(2)清洗次數(shù)及殘留不同
去除油污及氧化物等工藝時,濕法化學(xué)清洗需要進一步去除及處理或需要多次清洗,而干法清洗只要一次,基本無殘留物。
(3)對環(huán)境造成影響不同
濕法化學(xué)清洗后大量的廢物還要需要進一步處理,這樣也耗費更多的時間和人力,但是干法清洗反應(yīng)副產(chǎn)物為氣體,在通過真空系統(tǒng)及中和器可直接排放到大氣中。
(4)毒性不同
混法化學(xué)清洗溶劑和酸有相當(dāng)高的毒性,而干潔清洗反應(yīng)所需氣體大多無毒,也不會對身體產(chǎn)生危害。
九、小麥清洗干法和濕法啥區(qū)別?
小麥清理就是利用小麥與雜質(zhì)的外形特征、結(jié)構(gòu)特性、物理性質(zhì)等差異,采用響應(yīng)的清理設(shè)備,最大限度的從小麥中將雜質(zhì)分開,通過清理使黏附在自身表面和腹溝內(nèi)的雜質(zhì)以及外果皮和麥毛清理干凈,并在清理的同時,進行水分調(diào)節(jié),使小麥的結(jié)構(gòu)力學(xué)特性改變,保證各項指標(biāo)達到入磨凈麥的要求。
小麥清理方法有干法和濕法兩種。干法清理是采用著水機著水,用水量較少,無排放水,清理工序較完善,適用于大型廠采用;濕法清理是采用洗麥機著水,用水量較大,有廢水排放,適用與中小型廠,清理流程較簡單的工藝
十、半導(dǎo)體設(shè)備說明?
1、?單晶爐
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶硅的設(shè)備。在實際生產(chǎn)單晶硅過程中,它扮演著控制硅晶體的溫度和質(zhì)量的關(guān)鍵作用。
由于單晶直徑在生長過程中可受到溫度、提拉速度與轉(zhuǎn)速、坩堝跟蹤速度、保護氣體流速等因素影響,其中生產(chǎn)的溫度主要決定能否成晶,而速度將直接影響到晶體的內(nèi)在質(zhì)量,而這種影響卻只能在單晶拉出后通過檢測才能獲知,單晶爐主要控制的方面包括晶體直徑、硅功率控制、泄漏率和氬氣質(zhì)量等。
2、?氣相外延爐
氣相外延爐主要是為硅的氣相外延生長提供特定的工藝環(huán)境,實現(xiàn)在單晶上生長與單晶晶相具有對應(yīng)關(guān)系的薄層晶體。外延生長是指在單晶襯底(基片)上生長一層有一定要求的、與襯底晶向相同的單晶層,猶如原來的晶體向外延伸了一段,為了制造高頻大功率器件,需要減小集電極串聯(lián)電阻,又要求材料能耐高壓和大電流,因此需要在低阻值襯底上生長一層薄的高阻外延層。
氣相外延爐能夠為單晶沉底實現(xiàn)功能化做基礎(chǔ)準(zhǔn)備,氣相外延即化學(xué)氣相沉積的一種特殊工藝,其生長薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù),而且與襯底的晶向保持對應(yīng)的關(guān)系。
3、?氧化爐
硅與含有氧化物質(zhì)的氣體,例如水汽和氧氣在高溫下進行化學(xué)反應(yīng),而在硅片表面產(chǎn)生一層致密的二氧化硅薄膜,這是硅平面技術(shù)中一項重要的工藝。氧化爐的主要功能是為硅等半導(dǎo)體材料進行氧化處理,提供要求的氧化氛圍,實現(xiàn)半導(dǎo)體預(yù)期設(shè)計的氧化處理過程,是半導(dǎo)體加工過程的不可缺少的一個環(huán)節(jié)。
4、?磁控濺射臺
磁控濺射是物理氣相沉積的一種,一般的濺射法可被用于制備半導(dǎo)體等材料,且具有設(shè)備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優(yōu)點。在硅晶圓生產(chǎn)過程中,通過二極濺射中一個平行于靶表面的封閉磁場,和靶表面上形成的正交電磁場,把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域,實現(xiàn)高離子密度和高能量的電離,把靶原子或分子高速率濺射沉積在基片上形成薄膜。
5、?化學(xué)機械拋光機
一種進行化學(xué)機械研磨的機器,在硅晶圓制造中,隨著制程技術(shù)的升級、導(dǎo)線與柵極尺寸的縮小,光刻技術(shù)對晶圓表面的平坦程度的要求越來越高,IBM公司于1985年發(fā)展CMOS產(chǎn)品引入,并在1990年成功應(yīng)用于64MB的DRAM生產(chǎn)中,1995年以后,CMP技術(shù)得到了快速發(fā)展,大量應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。
化學(xué)機械研磨亦稱為化學(xué)機械拋光,其原理是化學(xué)腐蝕作用和機械去除作用相結(jié)合的加工技術(shù),是目前機械加工中唯一可以實現(xiàn)表面全局平坦化的技術(shù)。在實際制造中,它主要的作用是通過機械研磨和化學(xué)液體溶解“腐蝕”的綜合作用,對被研磨體(半導(dǎo)體)進行研磨拋光。
6、?光刻機
又名掩模對準(zhǔn)曝光機、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等,常用的光刻機是掩膜對準(zhǔn)光刻,一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時“復(fù)制”到硅片上的過程。
7、?離子注入機
它是高壓小型加速器中的一種,應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子,經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流,用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入,還用于金屬材料表面改性和制膜等 。
在進行硅生產(chǎn)工藝?yán)锩妫枰玫诫x子注入機對半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進行摻雜,離子注入機是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備,離子注入是對半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進行摻雜的技術(shù)目的是改變半導(dǎo)體的載流子濃度和導(dǎo)電類型,離子注入與常規(guī)熱摻雜工藝相比可對注入劑量角度和深度等方面進行精確的控制,克服了常規(guī)工藝的限制,降低了成本和功耗。
8、?引線鍵合機
它的主要作用是把半導(dǎo)體芯片上的Pad與管腳上的Pad,用導(dǎo)電金屬線(金絲)鏈接起來。引線鍵合是一種使用細(xì)金屬線,利用熱、壓力、超聲波能量為使金屬引線與基板焊盤緊密焊合,實現(xiàn)芯片與基板間的電氣互連和芯片間的信息互通。在理想控制條件下,引線和基板間會發(fā)生電子共享或原子的相互擴散,從而使兩種金屬間實現(xiàn)原子量級上的鍵合。
9、?晶圓劃片機
因為在制造硅晶圓的時候,往往是一整大片的晶圓,需要對它進行劃片和處理,這時候晶圓劃片機的價值就體現(xiàn)出了。之所以晶圓需要變換尺寸,是為了制作更復(fù)雜的集成電路。
10、?晶圓減薄機
在硅晶圓制造中,對晶片的尺寸精度、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶格結(jié)構(gòu)提出很高要求,因此在幾百道工藝流程中,不可采用較薄的晶片,只能采用一定厚度的晶片在工藝過程中傳遞、流片。晶圓減薄,是在制作集成電路中的晶圓體減小尺寸,為了制作更復(fù)雜的集成電路。在集成電路封裝前,需要對晶片背面多余的基體材料去除一定的厚度,這一工藝需要的裝備就是晶片減薄機。
當(dāng)然了,在實際的生產(chǎn)過程中,硅晶圓制造需要的設(shè)備遠遠不止這些。之所以光刻機的關(guān)注度超越了其它半導(dǎo)體設(shè)備,這是由于它的技術(shù)難度是最高的,目前僅有荷蘭和美國等少數(shù)國家擁有核心技術(shù)。近年來,國內(nèi)的企業(yè)不斷取得突破,在光刻機技術(shù)上也取得了不錯的成績,前不久,國產(chǎn)首臺超分辨光刻機被研制出來,一時間振奮了國人,隨著中國自主研發(fā)的技術(shù)不斷取得進步,未來中國自己生產(chǎn)的晶圓也將不斷問世。
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