對于高濃度VOCs廢氣，應先采用冷凝(深冷)回收技術、變壓吸附回收技術等對廢氣中的有機化合物回收利用，然后輔助以其他廢氣處理技術實現達標排放。
對于中等濃度VOCs廢氣，應采用吸附技術回收有機溶劑或熱力焚燒技術凈化后達標排放。
對于低濃度VOCs廢氣，有回收價值時，應采用吸附技術;無回收價值時，宜采用吸附濃縮催化燃燒技術、蓄熱式熱力焚燒技術、生物凈化技術等。

惡臭氣體可采用微生物凈化技術、低溫等離子技術、吸附或吸收技術、熱力焚燒技術等凈化后達標排放。(除惡臭異味治理外，一般不采用低溫等離子、光催化、光氧化等技術。)
連續生產的化工企業原則上應對可燃性VOCs廢氣采取回收利用或焚燒方式處理；間歇生產的化工企業宜采用焚燒、吸附或組合廢氣處理工藝處理，如活性炭吸附脫附+rco催化燃燒、沸石轉輪吸附脫附+rco催化燃燒、沸石轉輪吸附脫附+rto高溫焚燒等。
粉塵類廢氣應采用布袋除塵、靜電除塵或以布袋除塵為核心的組合廢氣處理工藝。工業鍋爐和工業爐窯廢氣優先采取清潔能源和高效凈化工藝，并滿足主要污染物減排要求。
提高廢氣處理的自動化程度。噴淋廢氣處理設備可采用液位自控儀、pH 自控儀和ORP 自控儀等，加藥槽配備液位報警裝置，加藥方式宜采用自動加藥。
排氣筒高度應按規范要求設置。排氣筒高度不低于15米， 氰化氫、氯氣、光氣排氣筒高度不低于25米；末端治理的進出口要設置采樣口并配備便于采樣的設施
；嚴格控制企業排氣筒數量，同類廢氣排氣筒宜合并。