低溫等離子體技術(Non thermal plasma，NTP)在柴油機尾氣凈化研究領域內的運用，其主要理論是利用介質阻擋放電方式產生非平衡等離子體，電離氣體產生大量反應活性很高的電子、原子、分子和氧化性很強的自由基體，與柴油機尾氣中有害成分發生化學反應。目前該技術尚不成熟，應用較少。

兩者都是通過外加條件促進通常條件下難以發生物理化學過程得以進行，兩者的區別是外加條件（手段）不同，應用的對象也不太一樣，等離子體技術是利用其中的大量活性粒子，促進與對象粒子的反應；而光氧催化技術應該是利用光照和富氧條件促進某些對這兩個條件敏感的反應得以高效進行。