低溫等離子體工業(yè)廢氣凈化設備是指在原電暈放電基礎上由高頻高壓電場通過尖端放電產(chǎn)生的低溫等離子體，在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產(chǎn)生大量的新生態(tài)氫、活性氧和氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內(nèi)部富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應，最終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣目的的設備。


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