氫指的只能是H2，沒有把HCL叫做氫的，簡稱也不行！！
多晶硅生產的廢氣主要含有氯硅烷、高沸點含硅聚合物、其它氯化物和，還可能含有氫氣。由于氫氣在氯硅烷中的溶解度非常低，而且密度也很小，所以很容易在殘液吸收前將其分離掉，相對而言，HCL在氯硅烷中的溶解度較大，并且氯硅烷一遇水就又生成HCl，所以廢氣中不含HCl是不可能的。