氮氧化合物廢氣主要治理方法：

按照凈化作用原理的不同，可分為催化還原法、吸收和吸附三類。

1、催化還原法，主要作用原理是在高溫、催化劑存在的條件下，將廢氣中的NOx還原成無污染的N2，由于反應溫度較高，同時需要催化劑，設備投資較大，運行成本較大。

2、吸附法，主要是利用吸收材料、吸附劑吸附廢氣中的NOx，由于吸附容量小，故該法僅適用于NOx濃度低、氣量小的廢氣處理。

3、吸收法，用水或酸、堿、鹽的水溶液來吸收廢氣中的氮氧化合物，使廢氣得以凈化。該法設備投資省，運行成本較低。

針對目前的有機廢氣治理，廢氣除臭處理，豐綠環保公司引進光觸媒先進廢氣處理技術，與國內多所知名院校積極合作，共同研究開發生產的一種能高效快速去除 揮發性有機物(VOC)、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇、苯等污染物各種臭味的高科技環保設備。豐綠環保紫外光冷燃燒廢氣處理設備除臭效率可達99.5%以上，效果大大超過國家頒布的惡臭污染物排放標準(GB14554-93)，它具有適應性強、運行成本低、無需預處理和設備占地面積小等特點，紫外光冷燃燒廢氣處理設備可廣泛應用于煉油廠、橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠、垃圾轉運站等各種有污染源惡臭氣體的脫臭凈化。

空氣凈化的方法？

1、潔凈工作臺法 半導體工業采用了許多這方面的技術。然而一個主要的問題是當從小加工車間擴建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導體工業把帶過濾天花板夾層和墻體的方法演化為潔凈工作臺法。這個主要是把過濾器裝在單個工作臺上，并使用無脫落的物質。在工作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運輸。 在大型車間中按順序排列的工作臺（叫做工作罩）組成加工區，使晶圓依工藝次序經過而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過濾器是一種高效顆粒搜集過濾器（HEPA過濾器）。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過濾層，使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產生空氣流，有利于工作臺的潔凈度，并且對于操作員而言，在舒適的環境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸。HEPA過濾器可達到99.99%或更高的過濾效率，并可用于三種凈化方法中。 2、隧道/車間概念 隨著更嚴格的顆粒控制成為必要，潔凈工作臺就產生了一些缺點。其中主要是由于車間中眾多工作人員的移動而產生的易污染性。進出于加工車間的工作員對所有流程的工作臺都存潛在污染。 把加工車間分割為不同的隧道可解決人員污染問題。這時過濾器被裝于車間天花板上，而不是在單獨工作臺中，但是起的作用相同。經過天花板中的過濾器流入的空氣可保持持續潔凈，并且會降低人員產生的污染，這是因為減少了工作臺周圍的工作人員。但這種方法的缺點是建造費用較高，而且不適于工藝改動。 3、完全潔凈室方法 潔凈室設計和過濾技術的發展，允許我們又回到敞開式加工區域的建設,在最先進的設計中，空氣過濾包括天花板中的HEPA過濾器，并從地板上回收空氣，保持持續的潔凈空氣流。工作臺頂部帶有貫通穿孔，可使空氣無阻礙地流過。 4、微局部環境 為使產品不暴露于空氣中，需要把一系列的微局部環境連在一起。惠普公司在二十世紀八十年代中期發明了一種重要的連接裝置“標準機械接口裝置”（SMIF）。利用SMIF，封閉的晶圓加工系統代替了傳統的運輸盒，并用干凈空氣或氮氣來在系統中加壓以保持清潔。這種方法就是“晶圓隔離技術（WIT）”或“微局部環境”的一種。這個系統包含三個主要部分：傳輸晶圓的晶圓盒或叫POD，設備中的封閉局部環境，和裝卸晶圓的機械部件。POD就作為與工藝設備的微局部環境相連的機械接口。在工藝設備的晶圓系統上，特制的機械手把晶圓從POD中取出或裝入。另一種方法就是利用機械手把晶片匣和從POD中取出送入工藝設備的晶圓處理系統中。為局部環境可提供更優的溫度與適度控制。 參考與東莞和生（WSI）官網