1、送風潔凈度，從潔凈度要求考慮，以低級別潔凈室選用低性能過濾器、高級別潔凈室選用高性能過濾器為原則，要選擇好過濾器還要全面考慮潔凈室特性、過濾器特性和凈化系統特性；

2、氣流組織，在設計氣流組織時應考慮這些原則:盡量減少渦流，避免將工作區以外的污染帶入工作區；盡量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機會；工作區的氣流要盡量均勻，且其風速要滿足工藝和衛生要求，當氣流向回風口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走；

3、送風量或風速，100萬級潔凈室的通風量是按高中效凈化系統考慮，其余均按高效凈化系統考慮；當10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機房或系統末端采用亞高效過濾器時，可適當提高換氣次數；

4、靜壓差，潔凈室維持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染、以維持設計潔凈度等級必不可少地條件之一。