1927年英國為了保護倫敦高層建筑的需要，在泰吾士河岸的巴特富安和班支賽德兩電廠（共120MW），首先采用石灰石脫硫工藝。

據統計，1984年有SO2控制工藝189種，目前已超過200種。主要可分為四類：（1）燃燒前控制-原煤凈化（2）燃燒中控制-硫化床燃燒（CFB）和爐內噴吸收劑（3）燃燒后控制-煙氣脫硫（4）新工藝（如煤氣化/聯合循環系統、液態排渣燃燒器）其中大多數國家采用燃燒后煙氣脫硫工藝。煙氣脫硫則以濕式石灰石/石膏法脫硫工藝作為主流。

自本世紀30年代起已經進行過大量的濕式石灰石/石膏法研究開發，60年代末已有裝置投入商業運行。ABB公司的第一套實用規模的濕法煙氣脫硫系統于1968年在美國投入使用。1977年比曉夫公司制造了歐洲第一臺石灰/石灰石石膏法示范裝置。IHI（石川島播磨）的首臺大型脫硫裝置1976年在磯子火電廠1、2號機組應用，采用文丘里管2塔的石灰石石膏法混合脫硫法。三菱重工于1964年完成第一套設備，根據其運轉實績，進行煙氣脫硫裝置的開發。

第一代FGD系統：美國和日本從70年代開始安裝。早期的FGD系統包括以下一些流程：石灰基流質；鈉基溶液；石灰石基流質；堿性飛灰基流質；雙堿（石灰和鈉）；鎂基流質；Wellman-Lord流程。采用了廣泛的吸收類型，包括通風型、垂直逆流噴射塔、水平噴射塔，并采用了一些內部結構如托盤、填料、玻璃球等來增進反應。

第一代FGD的脫硫效率一般為70%~85%。

除少數外，副產品無任何商用價值只能作為廢料排放，只有鎂基法和Wellman-Lord法產出有商用價值的硫和硫酸。特征是初投資不高，但運行維護費高而系統可靠性低。結垢和材料失效是最大的問題。隨著經驗的增長，對流程做了改進，降低了運行維護費，提高了可靠性。

第二代FGD系統

在80年代早期開始安裝。為了克服第一代系統中的結垢和材料問題，出現了干噴射吸收器，爐膛和煙道噴射石灰和石灰石也接近了商業運行。然而占主流的FGD技術還是石灰基、石灰石基的濕清洗法，利用填料和玻璃球等的通風清洗法消失了。改進的噴射塔和淋盤塔是最常見的。流程不同其效率也不同。最初的干噴射FGD可達到70%~80%，在某些改進情形下可達到90%，爐膛和煙道噴射法可達到30%~50%，但反應劑消耗量大。隨著對流程的改進和運行經驗的提高，可達到90%的效率。美國所有第二代FGD系統的副產物都作為廢物排走了。然而在日本和德國，在石灰石基濕清洗法中把固態副產品強制氧化，得到在某些工農業領域中有商業價值的石膏。第二代FGD系統在運行維護費用和系統可靠性方面都有所進步。

第三代FGD系統

爐膛和煙道噴射流程得到了改進，而LIFAC和流化床技術也發展起來了。通過廣泛采用強制氧化和鈍化技術，影響石灰、石灰石基系統可靠性的結垢問題基本解決了。隨著對化學過程的進一步了解和使用二基酸（DBA）這樣的添加劑，這些系統的可靠性可以達到95%以上。鈍化技術和DBA都應用于第二代FGD系統以解決存在的問題。許多這些系統的脫硫效率達到了95%或更高。有些系統的固態副產品可以應用于農業和工業。在德國和日本，生產石膏已是電廠的一個常規項目。隨著設備可靠性的提高，設置冗余設備的必要性減小了，單臺反應器的煙氣處理量越來越大。在70年代因投資大、運行費用高和存在腐蝕、結垢、堵塞等問題，在火電廠中聲譽不佳。經過15年實踐和改進，工作性能與可靠性有很大提高，投資和運行費用大幅度降低，使它的下列優點較為突出：（1）有在火電廠長期應用的經驗；（2）脫硫效率和吸收利用率高（有的機組在Ca/S接近于1時，脫硫率超過90%）；（3）可用性好（最近安裝的機組，可用性已超過90%）。人們對濕法的觀念，從而發生轉變。

1927年英國為了保護倫敦高層建筑的需要，在泰吾士河岸的巴特富安和班支賽德兩電廠(共120MW)，首先采用石灰石脫硫工藝。據統計，1984年有SO2控制工藝189種，目前已超過200種。主要可分為四類：(1)燃燒前控制-原煤凈化(2)燃燒中控制-硫化床燃燒(CFB)和爐內噴吸收劑(3)燃燒后控制-煙氣脫硫(4)新工藝(如煤氣化/聯合循環系統、液態排渣燃燒器)其中大多數國家采用燃燒后煙氣脫硫工藝。煙氣脫硫則以濕式石灰石/石膏法脫硫工藝作為主流。自本世紀30年代起已經進行過大量的濕式石灰石/石膏法研究開發，60年代末已有裝置投入商業運行。ABB公司的第一套實用規模的濕法煙氣脫硫系統于1968年在美國投入使用。1977年比曉夫公司制造了歐洲第一臺石灰/石灰石石膏法示范裝置。IHI(石川島播磨)的首臺大型脫硫裝置1976年在磯子火電廠1、2號機組應用，采用文丘里管2塔的石灰石石膏法混合脫硫法。三菱重工于1964年完成第一套設備，根據其運轉實績，進行煙氣脫硫裝置的開發。第一代FGD系統：在美國和日本從70年代開始安裝。早期的FGD系統包括以下一些流程：石灰基流質;鈉基溶液;石灰石基流質;堿性飛灰基流質;雙堿(石灰和鈉);鎂基流質;Wellman-Lord流程。采用了廣泛的吸收類型，包括通風型、垂直逆流噴射塔、水平噴射塔，并采用了一些內部結構如托盤、填料、玻璃球等來增進反應。第一代FGD的效率一般為70%~85%。除少數外，副產品無任何商用價值只能作為廢料排放，只有鎂基法和Wellman-Lord法產出有商用價值的硫和硫酸。特征是初投資不高，但運行維護費高而系統可靠性低。結垢和材料失效是最大的問題。隨著經驗的增長，對流程做了改進，降低了運行維護費提高可靠性。第二代FGD系統：在80年代早期開始安裝。為了克服第一代系統中的結垢和材料問題，出現了干噴射吸收器，爐膛和煙道噴射石灰和石灰石也接近了商業運行。然而占主流的FGD技術還是石灰基、石灰石基的濕清洗法，利用填料和玻璃球等的通風清洗法消失了。改進的噴射塔和淋盤塔是最常見的。流程不同其效率也不同。最初的干噴射FGD可達到70%~80%，在某些改進情形下可達到90%，爐膛和煙道噴射法可達到30%~50%，但反應劑消耗量大。隨著對流程的改進和運行經驗的提高，可達到90%的效率。美國所有第二代FGD系統的副產物都作為廢物排走了。然而在日本和德國，在石灰石基濕清洗法中把固態副產品強制氧化，得到在某些工農業領域中有商業價值的石膏。第二代FGD系統在運行維護費用和系統可靠性方面都有所進步。第三代FGD系統：爐膛和煙道噴射流程得到了改進，而LIFAC和流化床技術也發展起來了。通過廣泛采用強制氧化和鈍化技術，影響石灰、石灰石基系統可靠性的結垢問題基本解決了。隨著對化學過程的進一步了解和使用二基酸(DBA)這樣的添加劑，這些系統的可靠性可以達到95%以上。鈍化技術和DBA都應用于第二代FGD系統以解決存在的問題。許多這些系統的脫硫效率達到了95%或更高。有些系統的固態副產品可以應用于農業和工業。在德國和日本，生產石膏已是電廠的一個常規項目。隨著設備可靠性的提高，設置冗余設備的必要性減小了，單臺反應器的煙氣處理量越來越大。在70年代因投資大、運行費用高和存在腐蝕、結垢、堵塞等問題，在火電廠中聲譽不佳。經過15年實踐和改進，工作性能與可靠性有很大提高，投資和運行費用大幅度降低，使它的下列優點較為突出：(1)有在火電廠長期應用的經驗;(2)脫硫效率和吸收利用率高(有的機組在Ca/S接近于1時，脫硫率超過90%);(3)可用性好(最近安裝的機組，可用性已超過90%)。人們對濕法的觀念，從而發生轉變。目前它是應用最廣，技術最成熟的工藝，運行可靠、檢修周期長，采用經濟實用、廉價的石灰石細粉作為吸收劑，與煙氣中的SO2反應，經過幾個反應步驟，生成副產品石膏。椐統計，全世界現有煙氣脫硫裝置中，濕法約占85%(其中石灰石/石膏系統為36.7%，其它濕法48.3%)，噴霧干燥系統8.4%，吸收劑再生系統3.4%，煙道內噴吸收劑1.9%。