純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會(huì)出現(xiàn)使人窒息的危險(xiǎn)，設(shè)計(jì)戶內(nèi)通風(fēng)裝置時(shí)要考慮到這一情況。　　在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強(qiáng)烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應(yīng)用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測設(shè)備，SF6氣體監(jiān)測的主要方法有一下四種：1）電化學(xué)技術(shù)（TGS830、TGS832）費(fèi)加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號的改變，以此來發(fā)現(xiàn)被檢測氣體。電化學(xué)技術(shù)其成本低、壽命長、結(jié)構(gòu)簡單，可以連續(xù)工作的特點(diǎn)。2）高壓擊穿技術(shù)。電擊穿技術(shù)是從SF6在電力上的典型應(yīng)用――作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開關(guān)柜中演變而來的。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間電壓的變化來判斷空氣中是否含有SF6氣體。因其結(jié)構(gòu)相對簡單，成本低，檢測精度相對高的特點(diǎn)。3）紅外光譜技術(shù)（IAC510）紅外光譜吸收技術(shù)(又稱激光技術(shù)）的原理是SF6作為溫室氣體，對特定波段的紅外光有很強(qiáng)烈的吸收特性。紅外光譜技術(shù)的特點(diǎn)是成本高，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，靈敏度高，不受環(huán)境的影響和干擾，對環(huán)境的溫度和濕度的變化所帶來的檢測誤差很小，由于其是采用主動(dòng)抽取測試點(diǎn)氣體的原理，帶來的效果是發(fā)現(xiàn)泄漏早，反應(yīng)迅速。同時(shí)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)對工程實(shí)施中的布線也帶來了很大的方便。4）電子捕獲ECD原理電子捕獲檢測器（electron capture detector)，簡稱ECD。 電子捕獲檢測器也是一種離子化檢測器，它是一個(gè)有選擇性的高靈敏度的檢測器，它只對具有電負(fù)性的物質(zhì)，如含鹵素、硫、磷、氮的物質(zhì)有信號，物質(zhì)的電負(fù)性越強(qiáng)，也就是電子吸收系數(shù)越大，檢測器的靈敏度越高，而對電中性（無電負(fù)性）的物質(zhì)，如烷烴等則無信號。

　在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強(qiáng)烈的腐蝕性和毒性。所以需要分解產(chǎn)物GDSF-II氣體綜合分析儀