能夠影響氣體純度的因素很多，氣瓶本身的質量和處理方法與操作手法也是導致六氟化硫微水超標可能原因。

操作人員行為不規范，在給設備灌沖SF6氣體未將氣瓶倒立放置，操作時間過長導致空氣中的水分進入或者是管路接口有水分都是導致六氟化硫微水超標的原因。

當然在檢修斷路器時，拆解后的設備和空氣接觸時間太長，絕緣件沒有得到充分干燥導致受潮。

吸附劑活化時間太短安裝時吸入水分。

斷路器內部氣體壓力比外界高，水分壓力比外界低，如果密封不合格會導致外界水分滲透。

斷路器的接頭、充氣口、法蘭等部件有滲漏點也會導致水分進入到設備內部。這些都是引起六氟化硫微水超標的潛在因素。