SF6在電弧電暈作用下，會與水發生反應，產生強腐蝕性HF物質和劇毒氟化物，危及設備和人員的安全，并可能引發爆炸事故。
當設備內SF6氣體濕度過高，絕緣子表面為液體時，絕緣子表面放電電壓降低，降低設備內部絕緣。
除濕度外，在用設備的絕緣還與溫度、壓力等其他參數有關。設備的絕緣等級也在不同壓力下測量的相同濕度值下變化
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