一、直接氣相色譜法測定硅烷中的O2+Ar、N2和H2 二、濃縮氣體色譜法測定充氫硅烷中的雜質 三、硅烷中甲烷雜質的氣相色譜分析 四、氮磷檢定器用于硅烷分析 五、三種靈敏檢定器對硅烷的分析比較 專業的第三方檢測可以檢測。

硅烷中的硼、磷雜質怎么去除

不知道你問的是除去什么相態中的雜質。現階段多晶硅中的B、P雜質是不能除去的；硅烷氣體中的雜質可以通過吸附的方法除去，如活性炭等。液態氯硅烷通過加壓精餾可以除去B、P雜質……

有誰知道三氯氫硅的生產工藝？？？

三氯氫硅合成。將硅粉卸至轉動圓盤，通過管道用氣體輸送至硅粉倉，再加入硅粉干燥器，經過圓盤給料機并計量后加入三氯氫硅合成爐。在三氯氫硅合成爐內，溫度控制在80—310℃，硅粉和發生反應，生成三氯氫硅和四氯化硅。生成的三氯氫硅和四氯化硅氣體經沉降器、旋風分離器和袋式過濾器除去粉塵及高氯硅烷，經水冷后經隔膜壓縮機加壓，再用-35℃冷媒冷凝為液體。不凝性氣體通過液封罐進入尾氣淋洗塔，經酸堿淋洗達標后排放。
三氯氫硅分離。三氯氫硅和四氯化硅混合料（三氯氫硅含量為80—85%）進入加壓塔，采用兩塔連續提純分離，通過控制一定的回流比，最終得到三氯氫硅含量為99%以上的產品和四氯化硅含量為95%以上的副產物。
含塵廢氣主要是輸送硅粉的氮氣，先經布袋除塵回收硅粉，然后經水洗滌，洗滌廢水經沉淀后循環使用，尾氣洗滌后排入大氣。布袋除塵器除塵率為99％，洗滌除塵率按50％計，總除塵效率達到99.5％，經處理后達標排放。不凝氣體主要含有保護氣體，其余還含有少量的氯硅烷、等。
經過低溫冷凝后剩余的不凝氣送廢氣處理裝置，氯硅烷系列遇水迅速分解成硅酸和，氣體先被稀鹽酸循環吸收為濃鹽酸回收使用，微量部分被堿液吸收、反應。廢氣主要成份有氮氣，廢氣經淋洗處理后，通過車間排氣筒達標排放。在滿足要求的前提下盡量選用轉速低、噪聲小的設備；同時對鼓風機設獨立的隔聲間，與所在的樓層分開，以減輕振動而產生的噪聲；對空壓機、鼓風機、泵等進氣管裝消音器，并設隔聲操作室，減少室內噪聲污染，改善工人作業環境。
煙筒設置足夠的高度，使煙氣的排放符合國家《大氣污染物綜合排放標準》二級標準的要求。