HEPA過濾器是生物安全柜的核心部分。HEPA過濾器是可處理的干型過濾器，是 由疊片狀硼硅微纖維制成的，像紙一樣。

HEPA & ULPA過濾器的構造。Fig 6. 分離式過濾器Fig 7. 一體式過濾器Fig 5. 包裝物粘合成過濾網外框----外框與氣密墊片組裝成最終過濾箱體，Pack is glued into a frame - Frame is gasketed to formfinalassembly，HEPA/ULPA 過濾器是專門為去除多種空氣中的

HEPA過濾器圖冊(2張)

污染成分而設計的，可以去除的。成分包括：標準粉塵卷煙煙氣細菌（細菌大?。?00到0.3微米）煤灰花粉放射性微粒雜質離子-〉會影響到集成電路的速度。