凈化處理的方法主要有過濾法、吸附法、吸收法、蒸餾法、貯存衰變法等。為了提高凈化效果，往往采用多種方法的綜合處理流程。
　　從核工業體系來看，鈾礦山開采產生的粉塵、氡及其子體，一般采用通風稀釋或吸附過濾法處理。消除鈾冶煉廠排氣中的大量放射性粉塵，有機械除塵、過濾除塵、洗滌除塵、靜電除塵等方法。對鈾精制廠氟化工序產生的廢氣，處理方法是經兩次冷凝后再用氫氧化鉀洗滌。氣體擴散廠產生的廢氣，一般先經旋風分離器、金屬絲網過濾器、玻璃絲填充過濾器或靜電除塵器等除去廢氣中的鈾微塵，然后對廢氣中鈾的氟化物采用固體吸附劑吸附法或液體淋洗劑洗滌法除去。反應堆的廢氣，先經滯留衰變使碘、氪、氙短壽命的同位素衰變掉，再在室溫或低溫下經活性炭吸附后由高煙囪排入大氣。
　　除去核燃料后處理廠排氣中碘的凈化方法有：
　　①滯留衰變法，滯留設備有貯罐、延遲管或滯留床等。
　?、谝后w洗滌法，用液體吸收劑淋洗廢氣，使碘轉入液相而除去，吸收劑有氫氧化鈉、硫代硫酸鈉和硝酸汞－硝酸的水溶液等；較好的洗滌法是埃奧多克斯(Iodox)流程,采用20～22摩/升的濃硝酸為淋洗劑，可將碘氧化成非揮發性的碘酸鹽。
　　③固體吸附法，用吸附劑吸附碘，常用的吸附劑有：用三亞乙基二胺或碘化鉀浸漬過的活性炭、附銀沸石、附銀硅膠等。
　　對于氪85，已采用的及在研究中的處理方法有：①高空稀釋法；②低溫蒸餾法，利用廢氣中各組分的沸點不同，將廢氣中的氪與氙在低溫下分離出來；③液化碳氟化合物(氟利昂)吸收法，利用溶劑對惰性氣體的選擇性吸收特性來進行分離濃集；④低溫或常溫活性炭及分子篩吸附法等。
　　對氚的處理視來源而定：輕水堆中產生的氚一般要轉變成氚水再稀釋排放；后處理廠產生的氚，采用大氣擴散稀釋排放；研究中的處理方法有低溫蒸餾法、催化氧化法等。對于以二氧化碳狀態存在于廢氣中的碳14，處理方法有堿洗法、氟利昂吸收法、分子篩吸附法，以及用二氧化碳－氫氧化鋇的氣－固反應使碳14固定在碳酸鋇中的固定法等。對于廢物焚燒或固化處理過程中產生的含釕廢氣，可用除釕過濾器或硅膠吸附塔等除去。