工業(yè)廢氣處理設備采用低溫等離子體高壓放電，電場吸附有害有毒氣體在吸煙板上，在疊加脈沖作用下打開分子鍵、激活自由基、釋放臭氧，通過化學反映，自由結(jié)合，產(chǎn)生二氧化碳和水，對人體無害的同時，還在設備前后設置了各種過濾材料，針對不同廢氣的裝置，確保完全徹底的凈化效果。廢氣凈化（Flue gas purification）主要是指針對工業(yè)場所產(chǎn)生的工業(yè)廢氣諸如粉塵顆粒物、煙氣煙塵、異味氣體、有毒有害氣體進行治理的工作。常見的廢氣凈化有工廠煙塵廢氣凈化、車間粉塵廢氣凈化、有機廢氣凈化、廢氣異味凈化、酸堿廢氣凈化、化工廢氣凈化等。

凈化設備：廢氣凈化設備普遍應用在化工廠、電子廠、噴漆廠、汽車廠、涂料廠、石油化工行業(yè)、家具廠、食品廠、橡膠廠、塑膠廠等產(chǎn)生異味、臭味、有毒有害氣體的行業(yè)。在廢氣凈化的諸多設備中應根據(jù)具體情況選用費用低、耗能少、無二次污染、盡量做到節(jié)約能耗，有利環(huán)保。如，廢氣凈化行業(yè)代表性單位--CHO-91廢氣凈化塔采用五重廢氣吸附過濾凈化系統(tǒng)，廢氣凈化設計周密、層層凈化過濾廢氣，曾成功承建過奧運賽艇噴漆廢氣凈化，效果較好。廢氣凈化塔一般有酸霧廢氣凈化塔、玻璃鋼廢氣凈化塔、生物廢氣凈化塔、PP噴淋廢氣凈化塔等。凈化技術方法：廢氣的處理應從兩方面進行：針對懸浮粒狀污染物的廢氣除塵；針對氣態(tài)污染物的廢氣凈化氣態(tài)污染物的控制主要是利用物化性質(zhì)，如溶解度、吸附飽和度、露點及選擇化學反應等的差異，將污染物從廢氣中分離出來；或者將污染物轉(zhuǎn)化為無害或易于處理的物質(zhì)。廢氣凈化的基本方法有吸收法、吸附法、冷凝法、催化轉(zhuǎn)化法及燃燒法等。大氣污染的治理技術是重要的大氣環(huán)境保護對策措施。潔凈燃燒技術是在燃燒過程減少污染物排放與提高燃料利用效率的加工、燃燒、轉(zhuǎn)化和污染排放控制等所有技術的總稱。 二氧化硫、氮氧化物和煙（粉）塵是我國主要的大氣污染物。

廢氣凈化設備有許多種，不過低溫等離子體工業(yè)廢氣凈化設備非常實用。在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能量能夠打開某些有害氣體分子的化學能，如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈分解為單質(zhì)原子或無害分子。等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，在電場作用下，廢氣分子處于激發(fā)態(tài)，當廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。同時產(chǎn)生的大量-OH、-HO2、-O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學反應，最后生成無害產(chǎn)物。物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。生物作用表現(xiàn)在具有消毒殺菌之功效。機理為：等離子體中的正負粒子使微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。