有機廢氣處理設備利用高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、3-K胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構。利用高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的

氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對工業廢氣及其它刺激性異味有立竿見影的效果。凈化裝置由初濾單元、-C波段紫

外線裝置，降解收集，臭氧發生器及過濾單元等設備和部件組成。

當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性

基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。然后部分有機廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無害無味氣體。