鍍膜機操作步驟

1、打開冷卻水開關、空壓機開關（空壓機紅色按鈕向上拔為打開，向下按為關閉）和鍍膜機總電源開關。

2、將玻璃基板至于樣品托中，導電一面向下，刻蝕帶一側靠近樣品托藍色線條一側。

3、預處理室放氣，待放好氣后擰緊放氣閥，打開預處理室倉門，將樣品托放在推拉桿上，關閉倉門。

4、打開機械A、機械B泵及四個真空計。

5、基片預處理：打開角閥，當預處理室真空度達到2.0E1 ～5.0E1 (2.0×10～5.0×10)Pa時，關閉角閥、打開真空蒸鍍室角閥。打開直流濺射電源、再按下啟動按鈕，調節電流0.020-0.025A，轟擊10分鐘，將電流調節至0A，按下停止按鈕，關閉電源。

6、打開A泵，角閥，待度達4.0E0以下時，即當兩邊真空氣壓基本相當的的時候（約十分鐘），關閉角閥，A閥，打開蒸鍍室與預處理室之間的閘板閥（順時針方向開，逆時針方向關），檢查旋轉臺下的擋板，一定要將擋板放在恰當位置。樣品傳送至蒸鍍室，用機械手抓取樣品托，并保持在機械手上；然后將推拉桿拉回至預處理中，關閉閘板閥；降低蒸鍍臺與機械手平齊，將樣品托輕輕推入蒸鍍臺下方的樣品托導引槽（上方導引槽）。

7、當蒸鍍室真空度達到1.2E1（1.2×10） Pa以下時，關閉角閥、機械A泵。打開閘板閥，將蒸鍍室抽高真空至7.0E-4Pa（約2個小時）。

8、插入掩模板：將樣品升降電源調到手動，將蒸鍍臺旋轉180度（用皮帶精確定位），用升降盒使蒸鍍臺最下方的掩模板導引槽與掩膜版庫軌道，至于同一水平線上，用機械手將掩膜版輕輕推至蒸鍍臺的掩模板導引槽。（注意機械手用完一定要掛起）

9、蒸鍍過程：打開快門總開關，膜厚測試儀（F1是清零，F5是開始或停止）放樣品托的架子升最高，且旋轉。打開PID（束源爐）開關，調節溫度，依次蒸鍍相關材料，制備OLED器件。

10、若繼續實驗，打開機械A泵、預處理室角閥，至預處理室真空度達到4.0E0（4.0×1） Pa以下，同時將掩膜版歸位，用機械手將樣品托取下。打開閘板閥，將推拉桿推至蒸鍍室中，將樣品托放到推拉桿上，抽回至預處理室，關閉閘板閥,將預處理室放氣至大氣壓，將樣品托取出，真空室保持在高真空條件下。

11、若不再實驗，則關閉閘板閥，放氣（真空室頂部放氣按鈕）。打開真空室，取出樣品。打開快門控制電源，打開快門1，更換鎢絲（每做一次實驗更換一次），將鋁絲掛在鎢絲上（5個，掛于彎折處），檢查蒸鍍所需材料。關閉真空室，待分子泵數字為零時關閉分子泵后關閉機械泵B。打開機械泵A，真空室角閥，對真空室抽低真空至12Pa以下，關閉角閥，機械泵A，關閉電源。

如果長時間不用時一定要關閉循環水冰柜電源，以防凍裂。

一、電控柜的操作

1、玻璃真空鍍膜機開水泵、氣源

2、開總電源

3、開維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進入下一步操作。約需5分鐘。

4、開機械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動，真空計開關換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

5、觀察渦輪分子泵讀數到達250以后，關予抽，開前機和高閥繼續抽真空，抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子槍電源。

二、DEF-6B電子槍電源柜的操作

1、總電源

2、真空鍍膜設備同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：汽車玻璃鍍膜按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關，延時、電源及保護燈亮，三分鐘后延時及保護燈滅，若后門未關好或水流繼電器有故障，保護燈會常亮。

3、開高壓，高壓會達到10KV以上，調節束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉電流在1~1.7之間擺動。

三、關機順序

1、關高真空表頭、關分子泵。

2、待分子泵顯示到50時，依次關高閥、前級、機械泵，這期間約需40分鐘。

3、到50以下時，再關維持泵。

鍍膜機常見故障及處理方法

檢測不到掩膜夾具翻轉信號：

1、檢查翻面信號源位置

2、將翻面輸入信號人工短接，使用翻面檢測功能，計算機能檢測到信號時，證明問題在翻面控制開關上，根據情況做相應處理。檢測不到信號首先檢查線路，然后更換控制卡。

掩膜夾具翻轉不穩定:

1、檢查翻板的初始位置是否符合時機

2、檢測翻面控制開關工作是否穩定，可用指針萬用表跟蹤監測。

3、檢查翻轉機構動作是否靈活可靠

4、檢查翻面信號次數設置

5、檢查旋轉工作臺是否與鐘罩內壁有磨擦現象

6、檢測旋轉工作臺在轉動時的穩定性

在同一掩膜夾具頻率散差大:

1. 檢查晶片本身是否散差大

2. 檢查膜層修正板位置是否變動,重新調節修正板

3．檢查一下擋板在開、關時是否完全遮擋住鉬舟

4．檢查一下轟擊環是否完遮擋住鉬舟

5、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟