有機廢氣采用活性炭纖維有機廢氣凈化器、催化燃燒、RTO、低溫低離子、光催化氧化等；酸堿廢氣采用酸堿中和方法，酸堿廢氣凈化塔；硅烷廢氣一般采用不銹鋼硅烷燃燒塔處理；惡臭廢氣處理一般采用生物除臭以及光催化氧化或者活性炭吸附等

今年是2020年，UV光解有機廢氣處理設備已經被淘汰了，取代他的是萬川環保催化燃燒設備。催化燃燒設備常見用在五金、化工、電子、半導體、食品等行業中的有機廢氣處理。