1）燃燒法

燃燒法主要有根據(jù)燃燒的溫度及輔助介質(zhì)不同又分為直接燃燒法和催化燃燒法兩種。

催化燃燒法較適合于高濃度、小風(fēng)量廢氣的凈化，在處理低濃度的廢氣時，由于要維持300～400℃的催化燃燒溫度，需借助于活性炭吸附等濃縮工藝來提高廢氣的燃燒熱值，但廢氣中的水氣、油污及顆粒物易引起活性炭吸附容量下降及催化劑中毒失活等問題，使得該方法的推廣和使用在一定程度上受到了限制。

直接燃燒法是投加輔助燃料與廢氣一起送入焚燒爐燃燒，直接焚燒工藝成熟，控制一定的溫度條件下污染物去除效率高，焚燒徹底，但在使用過程中一般會有一下問題：

①若焚燒含氯、溴代有機(jī)物和芳烴類物質(zhì)時極易產(chǎn)生二惡英類強(qiáng)致癌物質(zhì)，尤其在焚燒爐啟動和關(guān)閉過程中更易產(chǎn)生，為避免二惡英類物質(zhì)產(chǎn)生，須提高燃燒溫度在1200℃以上，若保持如此高的燃燒溫度不僅運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用高，而且對焚燒爐的要求也大大提高。

②焚燒含氯代有機(jī)物時會產(chǎn)生腐蝕問題，尤其是在高溫狀態(tài)下，的腐蝕性能大大增強(qiáng)，不僅對管道存在腐蝕，更嚴(yán)重的是會引起焚燒爐的腐蝕。

③焚燒時存在爆炸的潛在危險，尤其是易揮發(fā)性可燃?xì)怏w，若達(dá)到其爆炸極限遇明火則有可能引起爆炸。

另外，若廢氣中含有鹵素、氮元素和硫元素的情況下，采用燃燒法極易產(chǎn)生二次污染物質(zhì)二惡英、氮氧化合物和硫氧化合物。

2）吸收法

利用污染物質(zhì)的物理和化學(xué)性質(zhì)，使用水或化學(xué)吸收液對廢氣進(jìn)行吸收去除的方法。該方法在設(shè)計操作合理的情況下去除效率很高，運(yùn)轉(zhuǎn)管理方便，但對設(shè)備及運(yùn)行管理要求極高，而且只有能溶解于吸收液或能與吸收液反應(yīng)的污染物才能被有效去除。

3）吸附法

該方法是當(dāng)污染物質(zhì)通過裝有吸附劑（如活性炭、疏水分子篩等）的吸附塔時，利用該吸附劑對污染物的強(qiáng)吸附力，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。該方法設(shè)備簡單，去除效果好，多用于凈化工藝的末級處理。該方法缺點(diǎn)是對高濃度廢氣處理效率低、占地面積大、氣阻大、吸附劑需經(jīng)常更換或再生等缺點(diǎn)，而且吸附劑脫附后的氣體難于收集而最終又排回大氣中，是一種不徹底的解決途徑。

4)吸附再生法

低溫加熱再生法。對于吸附沸點(diǎn)較低的低分子碳?xì)浠衔锖头枷阕逵袡C(jī)物的 飽和炭，一般用 100～200℃蒸汽吹脫使炭再生，再生可在吸附塔內(nèi)進(jìn)行。脫附后的有機(jī)物蒸汽經(jīng)冷凝后可回收利用。常用于氣體吸附的活性炭再生。