一、半導(dǎo)體工藝廢氣包括哪些？

酸性氣體，堿性氣體，有機(jī)廢氣，有毒氣體。電子半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)時會使用顯影劑、光刻膠、清潔劑、蝕刻液等溶劑，而這些溶劑是含有大量的有機(jī)物成分。

　　工業(yè)上的有機(jī)廢氣處理常用的工藝有:活性炭吸附處理法、酸堿中和法、等離子法、直接燃燒法、催化燃燒法、吸收法、冷凝法等。

二、廢氣處理設(shè)備工藝控制指標(biāo)？

廢氣處理設(shè)備工藝指標(biāo)主要是呃有呃廢氣的污染程度及質(zhì)量，以及呃呃污染污染廢氣中所含的污染物來劃分指標(biāo)的。分為輕度、中度梁分為輕度、中度、重度梁U。

三、有機(jī)廢氣VOCs處理有哪些工藝？

1燃燒法

燃燒法是指VOCs氣體在高溫和充足空氣下進(jìn)行完全燃燒，分解成CO2和H2O。在處理石化、印刷、油漆生產(chǎn)和制藥等生產(chǎn)工藝產(chǎn)生的高濃度VOCs氣體時具有很高的效率。但如果廢氣中還有氯、硫和氮等元素，燃燒后會產(chǎn)生有害氣體，造成二次污染。燃燒法包括直接燃燒法、催化燃燒法、熱力燃燒法。熱力燃燒法指在處理低濃度廢氣時，還需加入助燃?xì)怏w來提升溫度，達(dá)到去除目的。催化燃燒法是使用催化劑來降低VOCs氣體燃燒所需要的溫度，且能重復(fù)利用燃燒產(chǎn)生的熱量，如Yang等研制的CuO/CeO2-ZrO2/TiO2催化劑，溫度達(dá)到270℃時可完全去除乙酸乙酯。催化燃燒法廣泛應(yīng)用于煉焦、化工和金屬印刷等行業(yè)，具有較高的積極效益。近年來，國內(nèi)外研究者不斷開發(fā)新的催化劑，以達(dá)到節(jié)能和經(jīng)濟(jì)的雙重效益。

2吸收法

吸收法是利用液體溶劑吸收廢氣中的VOCs，以達(dá)到凈化廢氣的目的。目前多以水、輕柴油作為吸收溶劑，該方法設(shè)備簡單，對低濃度VOCs廢氣的處理具有很好的效果。但要做好對吸收劑的處理，以免造成二次污染。岑超平等以檸檬酸鈉溶液為吸收液進(jìn)行脫除甲苯廢氣的試驗研究，去除率達(dá)93%，并從飽和的檸檬酸鈉溶液中蒸餾回收甲苯，蒸餾后的吸收液還可重復(fù)使用，仍保持較高的吸收效率。

3冷凝法

冷凝法是最簡單的回收方法,該法的原理:通過將操作溫度控制在VOC的沸點(diǎn)以下而將VOC冷凝下來,從而達(dá)到回收VOC的目的。通常使用的冷卻介質(zhì)主要有冷水、冷凍鹽水和液氨。通常該技術(shù)僅用于VOC含量高(百分之幾)、氣體量較小的有機(jī)廢氣的回收處理。其回收率與有機(jī)物的沸點(diǎn)有關(guān),沸點(diǎn)較高時,回收率高;沸點(diǎn)較低時,回收效果不好。

由于大部分VOCs系易燃、易爆氣體,受到爆炸極限的限制,氣體中的VOC含量不會太高,所以,要達(dá)到較高的回收率,需采用較很低溫度的冷凝介質(zhì)或采用高壓措施,這些都勢必會增加設(shè)備投資和提高處理成本,而且在通常的操作條件下,由于相平衡的制約,有機(jī)物蒸汽壓較高,故離開冷凝器的排氣中的VOC含量仍不能達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn),該法一般不單獨(dú)使用,常與其它方法(如吸附、吸收、膜分離法等)聯(lián)合使用,這里不作詳細(xì)介紹。

4吸附法

吸附法早已用于VOCs的回收處理。尤其是活性炭吸附法已經(jīng)廣泛應(yīng)用于苯系物、鹵代烴的吸附處理。商業(yè)化的吸附劑有粒狀活性炭和活性炭纖維兩種,它們的吸附原理和工藝流程完全相同。其它的吸附劑,如沸石、分子篩等,也已在工業(yè)上得到應(yīng)用,但因費(fèi)用較高而限制了它們的廣泛使用。吸附法又分為固定床吸附法、流動床吸附法和濃縮輪吸附法。

四、VOCs廢氣處理工藝有哪些？

有機(jī)廢氣處理方法 1、冷凝回收法：把有機(jī)廢氣直接導(dǎo)入冷凝器經(jīng)吸附、吸收、解板、分離，可回收有價值的有機(jī)物，該法適用于有機(jī)廢氣濃度高、溫度低、風(fēng)量小的工況，需要附屬冷凍設(shè)備，主要應(yīng)用于制藥、化工行業(yè)，印刷企業(yè)較少采用。 2、吸收法：一般采用物理吸收，即將廢氣引入吸收液進(jìn)凈化，待吸收液飽和后經(jīng)加熱、解析、冷凝回收；本法適用于大氣量、低溫度、低濃度的廢氣，但需配備加熱解析回收裝置，設(shè)備體積大、投資較高。 一般采用活性炭吸附法：通過活性炭吸附廢氣，當(dāng)吸附飽和后，活性炭脫附再生，將廢氣吹 脫后催化燃燒，轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)，再生后的活性炭繼續(xù)使用。當(dāng)活性炭再生到一定次數(shù)后，吸附容量明顯下降，則需要再生或更新活性炭。 活性炭是目前處理有機(jī)廢氣使用最多的方法，對苯類廢氣具有良好的吸附性能，但對烴類廢氣吸附性較差。主要缺點(diǎn)是運(yùn)行成本較高，不適合于濕度大的環(huán)境，但就目前市場應(yīng)用來說，采用活性炭吸附最為常用。活性炭采用最多為：活性炭顆粒及活性炭纖維，采用活性炭顆粒價格比較便宜，但效果差些，相比來說采用活性炭纖維價格相對高些，效果好些。有機(jī)氣體專用活性炭 　　A.比表面積大，有效吸附量高。由于同樣重量的鑫森活性炭的表面積是煤質(zhì)活性炭顆粒的近十倍，所以需要填充的活性炭的重量非常小，然而吸附效率卻非常高，根據(jù)所處理廢氣的有機(jī)氣體含量和其它物理特性的不同，吸附效率在85％至98％之間，多級吸附工藝可以達(dá)到99.99％,遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于普通活性碳顆粒吸附法的最高吸附率88％，而且體積及總重量也都很小。 　　B.吸附﹑脫附行程短，速度快；脫附﹑再生耗能低。活性炭對有機(jī)氣體吸附量比普通顆粒狀活性炭(GAC)大幾倍至幾十倍，對無機(jī)氣體也有很好的吸附能力，并能保持較高的吸附脫附速度和較長的使用壽命。如用 水蒸氣加熱10-30分鐘，即可完全脫附，耐熱性能好，在惰性氣體中耐高溫1000℃以上，在空氣中著火點(diǎn)達(dá)450℃以上。 　　C.形狀可變，使用方便。有柱狀，球形顆粒，更換方便，不會對人體造成任何危害。 　　D.可根據(jù)需要生產(chǎn)出具有特殊性能的專用活性炭；強(qiáng)度好，不會造成二次污染。 3、直接燃燒法：利用燃?xì)饣蛉加偷容o助燃料燃燒，將混合氣體加熱，使有害物質(zhì)在高溫作用下分解為無害物質(zhì)；本法工藝簡單、投資小，適用于高濃度、小風(fēng)量的廢氣，但對安全技術(shù)、操作要求較高。 4、催化燃燒法：把廢氣加熱經(jīng)催化燃燒轉(zhuǎn)化成無害無臭的二氧化碳和水；本法起燃溫度低、節(jié)能、凈化率高、操作方便、占地面積少、投資投資較大，適用于高溫或高濃度的有機(jī)廢氣。 5、吸附法： 　　（1）直接吸附法：有機(jī)廢氣經(jīng)活性炭吸附，可達(dá)95%以上的凈化率，設(shè)備簡單、投資小，但活性炭更換頻繁，增加了裝卸、運(yùn)輸、更換等工作程序，導(dǎo)致運(yùn)行費(fèi)用增加。 　　（2）吸附-回收法：利用纖維活性炭吸附有機(jī)廢氣，在接近飽和后用過熱水蒸汽反吹，進(jìn)行脫附再生；本法要求提供必要的蒸汽量。 　　（3）新型吸附-催化燃燒法：此法綜合了吸附法及催化燃燒法的優(yōu)點(diǎn)，采用新型吸附材料（蜂窩狀活性炭）吸附，在接近飲和后引入熱空氣進(jìn)行脫附、解析，脫附后廢氣引入催化燃燒床無焰燃燒，將其徹底凈化，熱氣體在系統(tǒng)中循環(huán)使用，大大降低能耗。本法具有運(yùn)行穩(wěn)定可靠、投資省、運(yùn)行成本低、維修方便等特點(diǎn)，適用于大風(fēng)量、低濃度的廢氣治理，是目前國內(nèi)治理有機(jī)廢氣較成熟、實用的方法。

五、厭氧工藝產(chǎn)生廢氣需要處理嗎？

需要處理。

厭氧工藝分為UASB、ABR、IC等反應(yīng)器和A/O工藝或者是A2/O工藝，這其中的缺氧、水解酸化、兼氧等都是常說的厭氧。

如果是厭氧反應(yīng)器UASB、IC等產(chǎn)生的廢氣，其主要成分是甲烷，是一種清潔能源，可以做回收利用，也可以利用燃燒火炬來直接燃燒。如果是水解酸化，缺氧、兼氧產(chǎn)生的廢氣的話，這個就是屬于有機(jī)廢氣處理的一種了，可以采用生物除臭、等離子除臭、活性炭光氧一體機(jī)等。在選擇用等離子除臭設(shè)備的同時要考慮廢水中的甲烷產(chǎn)量，避免發(fā)生危險。

六、廢氣處理工藝有哪些及優(yōu)勢？

目前的揮發(fā)性有機(jī)污染物的治理包括破壞性，非破壞性方法，及這兩種方法的組合。

破壞性的方法包括燃燒、生物氧化、熱氧化、光催化氧化，低溫等離子體及其集成的技術(shù)，主要是由化學(xué)或生化反應(yīng)，用光，熱，微生物和催化劑將VOCs轉(zhuǎn)化成CO2和H2O等無毒無機(jī)小分子化合物。

非破壞性法，即回收法，主要是碳吸附、吸收、冷凝和膜分離技術(shù)，通過物理方法，控制溫度，壓力或用選擇性滲透膜和選擇性吸附劑等來富集和分離揮發(fā)性有機(jī)化合物。

傳統(tǒng)的揮發(fā)性廢氣處理常用吸收、吸附法去除，燃燒去除等，在最近幾年中，半導(dǎo)體光催化劑的技術(shù)體，低溫等離子得到了迅速發(fā)展。

七、鍋爐產(chǎn)生廢氣處理工藝是什么？

鍋爐廢氣具有高溫和腐蝕性，針對鍋爐廢氣可以使用萬川環(huán)保的氣旋噴淋塔進(jìn)行處理。

1.定制化程度高，氣旋噴淋塔可以根據(jù)企業(yè)實際情況量身定做，包括所需要的風(fēng)量與動力、管道的走向、集氣罩等配置。

2. 氣旋噴淋塔具有阻力小、能耗省、噪聲低、處理效率高等優(yōu)點(diǎn)，可以處理多種粉塵和廢氣。

3. 氣旋噴淋塔適用連續(xù)性和間歇性的污染物排放處理，管理操作方便簡單，不會對車間的生產(chǎn)造成任何影響。

4.氣旋噴淋塔由PLC控制風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速，既能滿足車間隨時所需要的風(fēng)量和風(fēng)速，又能很好的解決了運(yùn)行成本問題，達(dá)到節(jié)能目的。經(jīng)氣旋噴淋塔治理后達(dá)到國家和地方的排放標(biāo)準(zhǔn)，適用于半導(dǎo)體、冶金、電鍍、化工、硅膠、制藥等行業(yè)中的鍋爐廢氣處理。

八、工業(yè)有機(jī)廢氣處理工藝有哪些？

1.吸附工藝

吸附法主要適用于低濃度氣態(tài)污染物的凈化，對于高濃度的有機(jī)氣體，通常需要首先經(jīng)過冷凝等工藝將濃度降低后再進(jìn)行吸附凈化。吸附技術(shù)是最為經(jīng)典和常用的氣體凈化技術(shù)，也是目前工業(yè)VOCs 治理的主流技術(shù)之一。吸附法的關(guān)鍵技術(shù)是吸附劑、吸附設(shè)備和工藝、再生介質(zhì)、后處理工藝等。

活性炭因其具有大比表面積和微孔結(jié)構(gòu)而廣泛應(yīng)用于吸附回收有機(jī)氣體。目前，對活性炭吸附有機(jī)氣體的研究主要集中在吸附平衡的預(yù)測、活性炭材料的改性及有機(jī)物的物化性質(zhì)對活性炭吸附性能的影響。

2.吸收工藝

用溶液、溶劑或清水吸收工業(yè)廢氣中的揮發(fā)性氣體，使其與廢氣分離的方法叫吸收法。溶液、溶劑、清水稱為吸收劑。吸收劑不同可以吸收不同的有害氣體。

吸收法使用的吸收設(shè)備叫吸收器、凈化器或洗滌器。吸收法的工藝流程和濕法除塵工藝近似，只是濕法除塵工藝用清水，而吸收法凈化有害氣體要用溶劑或溶液。

3.冷凝工藝

油品在儲運(yùn)和銷售過程中部分輕烴組分揮發(fā)進(jìn)入大氣，造成資源浪費(fèi)和環(huán)境危害。同時有機(jī)溶劑廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中，每年都有大量的有機(jī)溶劑揮發(fā)到空氣中，危害人類健康，造成嚴(yán)重的環(huán)境污染。采取合適的方法回收這些揮發(fā)性有機(jī)物不但可以降低企業(yè)生產(chǎn)成本，而且具有巨大的環(huán)保效益。

冷凝法是用來回收VOCs的一種有效方法，其基本原理是利用氣態(tài)污染物在不同的溫度和壓力下具有不同飽和蒸汽壓，通過降低溫度和增加壓力，使某些有機(jī)物凝結(jié)出來，使VOCs得以凈化和回收。

4.膜分離工藝

在石油開采和儲運(yùn)過程中，部分油品揮發(fā)到大氣中形成的油氣中，除空氣外，主要C4-C5以及少量芳香烴。這些有機(jī)蒸氣排放不僅造成嚴(yán)重的資源浪費(fèi)，而且對空氣質(zhì)量有很大影響，進(jìn)而影響人類的健康，目前，有機(jī)蒸氣的分離回收方法主要是冷凝、活性炭吸附、膜分離法、溶劑吸收法。膜分離技術(shù)是一種效率較高的分離方法 。

5.燃燒工藝

一類VOCs 處理方法是所謂破壞性技術(shù)，即通過化學(xué)或生物的技術(shù)使VOCs 轉(zhuǎn)化為二氧化碳、水以及氯化氫等無毒或毒性小的無機(jī)物。燃燒法即屬此類技術(shù)。

燃燒法分直接燃燒法和催化燃燒法。直接燃燒法適合處理高濃度 VOCs 的廢氣，因其運(yùn)行溫度通常在800-1200℃時，工藝能耗成本較高，且燃燒尾氣中容易出現(xiàn)二惡英、NOx等副產(chǎn)物；由于廢氣中VOCs濃度一般較低，僅僅依靠反應(yīng)熱，一般難以維持反應(yīng)所需的溫度。

為了提高熱經(jīng)濟(jì)性，人們開展了大量的研究，一個方向是改進(jìn)催化劑的性能使反應(yīng)溫度降低。另一個方向是研究新的工藝技術(shù)、新的反應(yīng)器設(shè)計以使反應(yīng)能在較高的溫度下自熱地實現(xiàn)。

6.生物過濾工藝

利用微生物的新陳代謝過程對多種有機(jī)物和某些無機(jī)物進(jìn)行生物降解，可以有效去除工業(yè)廢氣中的污染物質(zhì)，此即為處理有機(jī)廢氣的生物法。

最先提出采用微生物處理廢氣構(gòu)想的是 Bach，他曾于1923年利用土壤過濾床處理污水處理廠散發(fā)的含 H2S 惡臭氣體。在德國和荷蘭的許多地區(qū)，該技術(shù)已大規(guī)模并成功地應(yīng)用于控制氣味，揮發(fā)性有機(jī)化合物和空氣中的有毒排放，許多常見的空氣污染物的控制效率已經(jīng)達(dá)到90％以上。

7.等離子體工藝

等離子體污染物控制技術(shù)利用氣體放電產(chǎn)生具有高度反應(yīng)活性的粒子與各種有機(jī)、無機(jī)污染物發(fā)生反應(yīng)，從而使污染物分子分解成為小分子化合物或氧化成容易處理的化合物而被去除。

這一技術(shù)的最大特點(diǎn)是可以高效、便捷地對多種污染物進(jìn)行破壞分解，使用的設(shè)備簡單，占用的空間較小，并適合于多種工作環(huán)境。

九、請問哪些行業(yè)要做廢氣處理工程？

廢氣處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于食品、化工、塑膠、電子、汽車噴涂、模具、木業(yè)、冶金、發(fā)電廠、太陽能、合金打磨等行業(yè)。關(guān)于這些行業(yè)源和環(huán)保有做過上百個成功案例。

十、目前有機(jī)廢氣處理常用的工藝有哪些？

1、掩蔽法 采用更強(qiáng)烈的芳香氣味與臭氣摻和，以掩蔽臭氣，使之能被人接收 適用于需立即地、暫時地消除低濃度惡臭氣體影響的場合，惡臭強(qiáng)度2.5左右，無組織排放源 可盡快消除惡臭影響，靈活性大，費(fèi)用低 惡臭成分并沒有被去除

2、稀釋擴(kuò)散法 將有臭味地氣體通過煙囪排至大氣，或用無臭空氣稀釋，降低惡臭物質(zhì)濃度以減少臭味 適用于處理中、低濃度的有組織排放的惡臭氣體 費(fèi)用低設(shè)備簡單 易受氣象條件限制，惡臭物質(zhì)依然存在

3、熱力燃燒法 在高溫下惡臭物質(zhì)與燃料氣充分混和，實現(xiàn)完全燃燒 適用于處理高濃度、小氣量的可燃性氣體 凈化效率高，惡臭物質(zhì)被徹底氧化分解 設(shè)備易腐蝕，消耗燃料，處理成本高，易形成二次污染

4、催化燃燒法

5、水吸收法 利用臭氣中某些物質(zhì)易溶于水的特性，使臭氣成分直接與水接觸，從而溶解于水達(dá)到脫臭目的 水溶性、有組織排放源的惡臭氣體 工藝簡單，管理方便，設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用低 產(chǎn)生二次污染，需對洗滌液進(jìn)行處理；凈化效率低，應(yīng)與其他技術(shù)聯(lián)合使用，對硫醇，脂肪酸等處理效果差

6、藥液吸收法 利用臭氣中某些物質(zhì)和藥液產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的特性，去除某些臭氣成分 適用于處理大氣量、高中濃度的臭氣 能夠有針對性處理某些臭氣成分，工藝較成熟 凈化效率不高，消耗吸收劑，易形成而二次污染

7、吸附法 利用吸附劑的吸附功能使惡臭物質(zhì)由氣相轉(zhuǎn)移至固相 適用于處理低濃度，高凈化要求的惡臭氣體 凈化效率很高，可以處理多組分惡臭氣體 吸附劑費(fèi)用昂貴，再生較困難，要求待處理的惡臭氣體有較低的溫度和含塵量

8、生物濾池式脫臭法 惡臭氣體經(jīng)過去塵增濕或降溫等預(yù)處理工藝后，從濾床底部由下向上穿過由濾料組成的濾床，惡臭氣體由氣相轉(zhuǎn)移至水—微生物混和相，通過固著于濾料上的微生物代謝作用而被分解掉 目前研究最多，工藝最成熟，在實際中也最常用的生物脫臭方法。又可細(xì)分為土壤脫臭法、堆肥脫臭法、泥炭脫臭法等。 處理費(fèi)用低 占地面積大，填料需定期更換，脫臭過程不易控制，運(yùn)行一段時間后容易出現(xiàn)問題，對疏水性和難生物降解物質(zhì)的處理還存在較大難度。

9、生物滴濾池式 原理同生物濾池式類似，不過使用的濾料是諸如聚丙烯小球、陶瓷、木炭、塑料等不能提供營養(yǎng)物的惰性材料。 只有針對某些惡臭物質(zhì)而降解的微生物附著在填料上，而不會出現(xiàn)生物濾池中混和微生物群同時消耗濾料有機(jī)質(zhì)的情況 池內(nèi)微生物數(shù)量大，能承受比生物濾池大的污染負(fù)荷，惰性濾料可以不用更換，造成壓力損失小，而且操作條件極易控制 需不斷投加營養(yǎng)物質(zhì)，而且操作復(fù)雜，使得其應(yīng)用受到限制

10、洗滌式活性污泥脫臭法 將惡臭物質(zhì)和含懸浮物泥漿的混和液充分接觸，使之在吸收器中從臭氣中去除掉，洗滌液再送到反應(yīng)器中，通過懸浮生長的微生物代謝活動降解溶解的惡臭物質(zhì) 有較大的適用范圍 可以處理大氣量的臭氣，同時操作條件易于控制，占地面積小 設(shè)備費(fèi)用大，操作復(fù)雜而且需要投加營養(yǎng)物質(zhì)

11、曝氣式活性污泥脫臭法 將惡臭物質(zhì)以曝氣形式分散到含活性污泥的混和液中，通過懸浮生長的微生物降解惡臭物質(zhì) 適用范圍廣，目前日本已用于糞便處理場、污水處理廠的臭氣處理 活性污泥經(jīng)過馴化后，對不超過極限負(fù)荷量的惡臭成分，去除率可達(dá)99.5%以上。 受到曝氣強(qiáng)度的限制，該法的應(yīng)用還有一定局限

12、三相多介質(zhì)催化氧化工藝 反應(yīng)塔內(nèi)裝填特制的固態(tài)復(fù)合填料，填料內(nèi)部復(fù)配多介質(zhì)催化劑。當(dāng)惡臭氣體在引風(fēng)機(jī)的作用下穿過填料層，與通過特制噴嘴呈發(fā)散霧狀噴出的液相復(fù)配氧化劑在固相填料表面充分接觸，并在多介質(zhì)催化劑的催化作用下，惡臭氣體中的污染因子被充分分解。 適用范圍廣，尤其適用于處理大氣量、中高濃度的廢氣，對疏水性污染物質(zhì)有很好的去除率。 占地小，投資低，運(yùn)行成本低；管理方便，即開即用；耐沖擊負(fù)荷，不易污染物濃度及溫度變化影響。 需消耗一定量的藥劑

13、低溫等離子體技術(shù) 介質(zhì)阻擋放電過程中，等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含極高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，最終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。 適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫(yī)藥等行業(yè)。 電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；運(yùn)行費(fèi)用低；反應(yīng)快，設(shè)備啟動、停止十分迅速，隨用隨開。 一次性投資較高。