一、半導體工藝廢氣包括哪些？

酸性氣體，堿性氣體，有機廢氣，有毒氣體。電子半導體行業在生產時會使用顯影劑、光刻膠、清潔劑、蝕刻液等溶劑，而這些溶劑是含有大量的有機物成分。

　　工業上的有機廢氣處理常用的工藝有:活性炭吸附處理法、酸堿中和法、等離子法、直接燃燒法、催化燃燒法、吸收法、冷凝法等。

二、廢氣處理設備工藝控制指標？

廢氣處理設備工藝指標主要是呃有呃廢氣的污染程度及質量，以及呃呃污染污染廢氣中所含的污染物來劃分指標的。分為輕度、中度梁分為輕度、中度、重度梁U。

三、有機廢氣VOCs處理有哪些工藝？

1燃燒法

燃燒法是指VOCs氣體在高溫和充足空氣下進行完全燃燒，分解成CO2和H2O。在處理石化、印刷、油漆生產和制藥等生產工藝產生的高濃度VOCs氣體時具有很高的效率。但如果廢氣中還有氯、硫和氮等元素，燃燒后會產生有害氣體，造成二次污染。燃燒法包括直接燃燒法、催化燃燒法、熱力燃燒法。熱力燃燒法指在處理低濃度廢氣時，還需加入助燃氣體來提升溫度，達到去除目的。催化燃燒法是使用催化劑來降低VOCs氣體燃燒所需要的溫度，且能重復利用燃燒產生的熱量，如Yang等研制的CuO/CeO2-ZrO2/TiO2催化劑，溫度達到270℃時可完全去除乙酸乙酯。催化燃燒法廣泛應用于煉焦、化工和金屬印刷等行業，具有較高的積極效益。近年來，國內外研究者不斷開發新的催化劑，以達到節能和經濟的雙重效益。

2吸收法

吸收法是利用液體溶劑吸收廢氣中的VOCs，以達到凈化廢氣的目的。目前多以水、輕柴油作為吸收溶劑，該方法設備簡單，對低濃度VOCs廢氣的處理具有很好的效果。但要做好對吸收劑的處理，以免造成二次污染。岑超平等以檸檬酸鈉溶液為吸收液進行脫除甲苯廢氣的試驗研究，去除率達93%，并從飽和的檸檬酸鈉溶液中蒸餾回收甲苯，蒸餾后的吸收液還可重復使用，仍保持較高的吸收效率。

3冷凝法

冷凝法是最簡單的回收方法,該法的原理:通過將操作溫度控制在VOC的沸點以下而將VOC冷凝下來,從而達到回收VOC的目的。通常使用的冷卻介質主要有冷水、冷凍鹽水和液氨。通常該技術僅用于VOC含量高(百分之幾)、氣體量較小的有機廢氣的回收處理。其回收率與有機物的沸點有關,沸點較高時,回收率高;沸點較低時,回收效果不好。

由于大部分VOCs系易燃、易爆氣體,受到爆炸極限的限制,氣體中的VOC含量不會太高,所以,要達到較高的回收率,需采用較很低溫度的冷凝介質或采用高壓措施,這些都勢必會增加設備投資和提高處理成本,而且在通常的操作條件下,由于相平衡的制約,有機物蒸汽壓較高,故離開冷凝器的排氣中的VOC含量仍不能達到排放標準,該法一般不單獨使用,常與其它方法(如吸附、吸收、膜分離法等)聯合使用,這里不作詳細介紹。

4吸附法

吸附法早已用于VOCs的回收處理。尤其是活性炭吸附法已經廣泛應用于苯系物、鹵代烴的吸附處理。商業化的吸附劑有粒狀活性炭和活性炭纖維兩種,它們的吸附原理和工藝流程完全相同。其它的吸附劑,如沸石、分子篩等,也已在工業上得到應用,但因費用較高而限制了它們的廣泛使用。吸附法又分為固定床吸附法、流動床吸附法和濃縮輪吸附法。

四、VOCs廢氣處理工藝有哪些？

有機廢氣處理方法 1、冷凝回收法：把有機廢氣直接導入冷凝器經吸附、吸收、解板、分離，可回收有價值的有機物，該法適用于有機廢氣濃度高、溫度低、風量小的工況，需要附屬冷凍設備，主要應用于制藥、化工行業，印刷企業較少采用。 2、吸收法：一般采用物理吸收，即將廢氣引入吸收液進凈化，待吸收液飽和后經加熱、解析、冷凝回收；本法適用于大氣量、低溫度、低濃度的廢氣，但需配備加熱解析回收裝置，設備體積大、投資較高。 一般采用活性炭吸附法：通過活性炭吸附廢氣，當吸附飽和后，活性炭脫附再生，將廢氣吹 脫后催化燃燒，轉化為無害物質，再生后的活性炭繼續使用。當活性炭再生到一定次數后，吸附容量明顯下降，則需要再生或更新活性炭。 活性炭是目前處理有機廢氣使用最多的方法，對苯類廢氣具有良好的吸附性能，但對烴類廢氣吸附性較差。主要缺點是運行成本較高，不適合于濕度大的環境，但就目前市場應用來說，采用活性炭吸附最為常用。活性炭采用最多為：活性炭顆粒及活性炭纖維，采用活性炭顆粒價格比較便宜，但效果差些，相比來說采用活性炭纖維價格相對高些，效果好些。有機氣體專用活性炭 　　A.比表面積大，有效吸附量高。由于同樣重量的鑫森活性炭的表面積是煤質活性炭顆粒的近十倍，所以需要填充的活性炭的重量非常小，然而吸附效率卻非常高，根據所處理廢氣的有機氣體含量和其它物理特性的不同，吸附效率在85％至98％之間，多級吸附工藝可以達到99.99％,遠遠高于普通活性碳顆粒吸附法的最高吸附率88％，而且體積及總重量也都很小。 　　B.吸附﹑脫附行程短，速度快；脫附﹑再生耗能低。活性炭對有機氣體吸附量比普通顆粒狀活性炭(GAC)大幾倍至幾十倍，對無機氣體也有很好的吸附能力，并能保持較高的吸附脫附速度和較長的使用壽命。如用 水蒸氣加熱10-30分鐘，即可完全脫附，耐熱性能好，在惰性氣體中耐高溫1000℃以上，在空氣中著火點達450℃以上。 　　C.形狀可變，使用方便。有柱狀，球形顆粒，更換方便，不會對人體造成任何危害。 　　D.可根據需要生產出具有特殊性能的專用活性炭；強度好，不會造成二次污染。 3、直接燃燒法：利用燃氣或燃油等輔助燃料燃燒，將混合氣體加熱，使有害物質在高溫作用下分解為無害物質；本法工藝簡單、投資小，適用于高濃度、小風量的廢氣，但對安全技術、操作要求較高。 4、催化燃燒法：把廢氣加熱經催化燃燒轉化成無害無臭的二氧化碳和水；本法起燃溫度低、節能、凈化率高、操作方便、占地面積少、投資投資較大，適用于高溫或高濃度的有機廢氣。 5、吸附法： 　　（1）直接吸附法：有機廢氣經活性炭吸附，可達95%以上的凈化率，設備簡單、投資小，但活性炭更換頻繁，增加了裝卸、運輸、更換等工作程序，導致運行費用增加。 　　（2）吸附-回收法：利用纖維活性炭吸附有機廢氣，在接近飽和后用過熱水蒸汽反吹，進行脫附再生；本法要求提供必要的蒸汽量。 　　（3）新型吸附-催化燃燒法：此法綜合了吸附法及催化燃燒法的優點，采用新型吸附材料（蜂窩狀活性炭）吸附，在接近飲和后引入熱空氣進行脫附、解析，脫附后廢氣引入催化燃燒床無焰燃燒，將其徹底凈化，熱氣體在系統中循環使用，大大降低能耗。本法具有運行穩定可靠、投資省、運行成本低、維修方便等特點，適用于大風量、低濃度的廢氣治理，是目前國內治理有機廢氣較成熟、實用的方法。

五、厭氧工藝產生廢氣需要處理嗎？

需要處理。

厭氧工藝分為UASB、ABR、IC等反應器和A/O工藝或者是A2/O工藝，這其中的缺氧、水解酸化、兼氧等都是常說的厭氧。

如果是厭氧反應器UASB、IC等產生的廢氣，其主要成分是甲烷，是一種清潔能源，可以做回收利用，也可以利用燃燒火炬來直接燃燒。如果是水解酸化，缺氧、兼氧產生的廢氣的話，這個就是屬于有機廢氣處理的一種了，可以采用生物除臭、等離子除臭、活性炭光氧一體機等。在選擇用等離子除臭設備的同時要考慮廢水中的甲烷產量，避免發生危險。

六、廢氣處理工藝有哪些及優勢？

目前的揮發性有機污染物的治理包括破壞性，非破壞性方法，及這兩種方法的組合。

破壞性的方法包括燃燒、生物氧化、熱氧化、光催化氧化，低溫等離子體及其集成的技術，主要是由化學或生化反應，用光，熱，微生物和催化劑將VOCs轉化成CO2和H2O等無毒無機小分子化合物。

非破壞性法，即回收法，主要是碳吸附、吸收、冷凝和膜分離技術，通過物理方法，控制溫度，壓力或用選擇性滲透膜和選擇性吸附劑等來富集和分離揮發性有機化合物。

傳統的揮發性廢氣處理常用吸收、吸附法去除，燃燒去除等，在最近幾年中，半導體光催化劑的技術體，低溫等離子得到了迅速發展。

七、鍋爐產生廢氣處理工藝是什么？

鍋爐廢氣具有高溫和腐蝕性，針對鍋爐廢氣可以使用萬川環保的氣旋噴淋塔進行處理。

1.定制化程度高，氣旋噴淋塔可以根據企業實際情況量身定做，包括所需要的風量與動力、管道的走向、集氣罩等配置。

2. 氣旋噴淋塔具有阻力小、能耗省、噪聲低、處理效率高等優點，可以處理多種粉塵和廢氣。

3. 氣旋噴淋塔適用連續性和間歇性的污染物排放處理，管理操作方便簡單，不會對車間的生產造成任何影響。

4.氣旋噴淋塔由PLC控制風機轉速，既能滿足車間隨時所需要的風量和風速，又能很好的解決了運行成本問題，達到節能目的。經氣旋噴淋塔治理后達到國家和地方的排放標準，適用于半導體、冶金、電鍍、化工、硅膠、制藥等行業中的鍋爐廢氣處理。

八、工業有機廢氣處理工藝有哪些？

1.吸附工藝

吸附法主要適用于低濃度氣態污染物的凈化，對于高濃度的有機氣體，通常需要首先經過冷凝等工藝將濃度降低后再進行吸附凈化。吸附技術是最為經典和常用的氣體凈化技術，也是目前工業VOCs 治理的主流技術之一。吸附法的關鍵技術是吸附劑、吸附設備和工藝、再生介質、后處理工藝等。

活性炭因其具有大比表面積和微孔結構而廣泛應用于吸附回收有機氣體。目前，對活性炭吸附有機氣體的研究主要集中在吸附平衡的預測、活性炭材料的改性及有機物的物化性質對活性炭吸附性能的影響。

2.吸收工藝

用溶液、溶劑或清水吸收工業廢氣中的揮發性氣體，使其與廢氣分離的方法叫吸收法。溶液、溶劑、清水稱為吸收劑。吸收劑不同可以吸收不同的有害氣體。

吸收法使用的吸收設備叫吸收器、凈化器或洗滌器。吸收法的工藝流程和濕法除塵工藝近似，只是濕法除塵工藝用清水，而吸收法凈化有害氣體要用溶劑或溶液。

3.冷凝工藝

油品在儲運和銷售過程中部分輕烴組分揮發進入大氣，造成資源浪費和環境危害。同時有機溶劑廣泛應用于工業生產中，每年都有大量的有機溶劑揮發到空氣中，危害人類健康，造成嚴重的環境污染。采取合適的方法回收這些揮發性有機物不但可以降低企業生產成本，而且具有巨大的環保效益。

冷凝法是用來回收VOCs的一種有效方法，其基本原理是利用氣態污染物在不同的溫度和壓力下具有不同飽和蒸汽壓，通過降低溫度和增加壓力，使某些有機物凝結出來，使VOCs得以凈化和回收。

4.膜分離工藝

在石油開采和儲運過程中，部分油品揮發到大氣中形成的油氣中，除空氣外，主要C4-C5以及少量芳香烴。這些有機蒸氣排放不僅造成嚴重的資源浪費，而且對空氣質量有很大影響，進而影響人類的健康，目前，有機蒸氣的分離回收方法主要是冷凝、活性炭吸附、膜分離法、溶劑吸收法。膜分離技術是一種效率較高的分離方法 。

5.燃燒工藝

一類VOCs 處理方法是所謂破壞性技術，即通過化學或生物的技術使VOCs 轉化為二氧化碳、水以及氯化氫等無毒或毒性小的無機物。燃燒法即屬此類技術。

燃燒法分直接燃燒法和催化燃燒法。直接燃燒法適合處理高濃度 VOCs 的廢氣，因其運行溫度通常在800-1200℃時，工藝能耗成本較高，且燃燒尾氣中容易出現二惡英、NOx等副產物；由于廢氣中VOCs濃度一般較低，僅僅依靠反應熱，一般難以維持反應所需的溫度。

為了提高熱經濟性，人們開展了大量的研究，一個方向是改進催化劑的性能使反應溫度降低。另一個方向是研究新的工藝技術、新的反應器設計以使反應能在較高的溫度下自熱地實現。

6.生物過濾工藝

利用微生物的新陳代謝過程對多種有機物和某些無機物進行生物降解，可以有效去除工業廢氣中的污染物質，此即為處理有機廢氣的生物法。

最先提出采用微生物處理廢氣構想的是 Bach，他曾于1923年利用土壤過濾床處理污水處理廠散發的含 H2S 惡臭氣體。在德國和荷蘭的許多地區，該技術已大規模并成功地應用于控制氣味，揮發性有機化合物和空氣中的有毒排放，許多常見的空氣污染物的控制效率已經達到90％以上。

7.等離子體工藝

等離子體污染物控制技術利用氣體放電產生具有高度反應活性的粒子與各種有機、無機污染物發生反應，從而使污染物分子分解成為小分子化合物或氧化成容易處理的化合物而被去除。

這一技術的最大特點是可以高效、便捷地對多種污染物進行破壞分解，使用的設備簡單，占用的空間較小，并適合于多種工作環境。

九、目前有機廢氣處理常用的工藝有哪些？

1、掩蔽法 采用更強烈的芳香氣味與臭氣摻和，以掩蔽臭氣，使之能被人接收 適用于需立即地、暫時地消除低濃度惡臭氣體影響的場合，惡臭強度2.5左右，無組織排放源 可盡快消除惡臭影響，靈活性大，費用低 惡臭成分并沒有被去除

2、稀釋擴散法 將有臭味地氣體通過煙囪排至大氣，或用無臭空氣稀釋，降低惡臭物質濃度以減少臭味 適用于處理中、低濃度的有組織排放的惡臭氣體 費用低設備簡單 易受氣象條件限制，惡臭物質依然存在

3、熱力燃燒法 在高溫下惡臭物質與燃料氣充分混和，實現完全燃燒 適用于處理高濃度、小氣量的可燃性氣體 凈化效率高，惡臭物質被徹底氧化分解 設備易腐蝕，消耗燃料，處理成本高，易形成二次污染

4、催化燃燒法

5、水吸收法 利用臭氣中某些物質易溶于水的特性，使臭氣成分直接與水接觸，從而溶解于水達到脫臭目的 水溶性、有組織排放源的惡臭氣體 工藝簡單，管理方便，設備運轉費用低 產生二次污染，需對洗滌液進行處理；凈化效率低，應與其他技術聯合使用，對硫醇，脂肪酸等處理效果差

6、藥液吸收法 利用臭氣中某些物質和藥液產生化學反應的特性，去除某些臭氣成分 適用于處理大氣量、高中濃度的臭氣 能夠有針對性處理某些臭氣成分，工藝較成熟 凈化效率不高，消耗吸收劑，易形成而二次污染

7、吸附法 利用吸附劑的吸附功能使惡臭物質由氣相轉移至固相 適用于處理低濃度，高凈化要求的惡臭氣體 凈化效率很高，可以處理多組分惡臭氣體 吸附劑費用昂貴，再生較困難，要求待處理的惡臭氣體有較低的溫度和含塵量

8、生物濾池式脫臭法 惡臭氣體經過去塵增濕或降溫等預處理工藝后，從濾床底部由下向上穿過由濾料組成的濾床，惡臭氣體由氣相轉移至水—微生物混和相，通過固著于濾料上的微生物代謝作用而被分解掉 目前研究最多，工藝最成熟，在實際中也最常用的生物脫臭方法。又可細分為土壤脫臭法、堆肥脫臭法、泥炭脫臭法等。 處理費用低 占地面積大，填料需定期更換，脫臭過程不易控制，運行一段時間后容易出現問題，對疏水性和難生物降解物質的處理還存在較大難度。

9、生物滴濾池式 原理同生物濾池式類似，不過使用的濾料是諸如聚丙烯小球、陶瓷、木炭、塑料等不能提供營養物的惰性材料。 只有針對某些惡臭物質而降解的微生物附著在填料上，而不會出現生物濾池中混和微生物群同時消耗濾料有機質的情況 池內微生物數量大，能承受比生物濾池大的污染負荷，惰性濾料可以不用更換，造成壓力損失小，而且操作條件極易控制 需不斷投加營養物質，而且操作復雜，使得其應用受到限制

10、洗滌式活性污泥脫臭法 將惡臭物質和含懸浮物泥漿的混和液充分接觸，使之在吸收器中從臭氣中去除掉，洗滌液再送到反應器中，通過懸浮生長的微生物代謝活動降解溶解的惡臭物質 有較大的適用范圍 可以處理大氣量的臭氣，同時操作條件易于控制，占地面積小 設備費用大，操作復雜而且需要投加營養物質

11、曝氣式活性污泥脫臭法 將惡臭物質以曝氣形式分散到含活性污泥的混和液中，通過懸浮生長的微生物降解惡臭物質 適用范圍廣，目前日本已用于糞便處理場、污水處理廠的臭氣處理 活性污泥經過馴化后，對不超過極限負荷量的惡臭成分，去除率可達99.5%以上。 受到曝氣強度的限制，該法的應用還有一定局限

12、三相多介質催化氧化工藝 反應塔內裝填特制的固態復合填料，填料內部復配多介質催化劑。當惡臭氣體在引風機的作用下穿過填料層，與通過特制噴嘴呈發散霧狀噴出的液相復配氧化劑在固相填料表面充分接觸，并在多介質催化劑的催化作用下，惡臭氣體中的污染因子被充分分解。 適用范圍廣，尤其適用于處理大氣量、中高濃度的廢氣，對疏水性污染物質有很好的去除率。 占地小，投資低，運行成本低；管理方便，即開即用；耐沖擊負荷，不易污染物濃度及溫度變化影響。 需消耗一定量的藥劑

13、低溫等離子體技術 介質阻擋放電過程中，等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，最終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。 適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫藥等行業。 電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；運行費用低；反應快，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開。 一次性投資較高。

十、半導體dp工藝是什么工藝？

是指蘸筆納米光刻術（Dip-pen nanolithography,DPN）利用原子力顯微鏡（AFM）的探針把“墨水”分子傳輸至基底表面,使之形成自組裝單分子層.DPN作為一種在物質表面構造納米結構的技術,以其高分辨率、定位準確和直接書寫等優點,在物理、化學、生物等領域的納米尺度研究中得到了廣泛應用.本文著重綜述近年來DPN在納米電路、生物芯片、化學檢測、催化反應、納米刻蝕等方面的新應用,以及它在實驗研究中取得的新進展,分析了相應實驗的原理,展示了這種技術的優勢和發展前景