工業上等離子體刻蝕的廢氣怎么處理的
外接scrubber處理,氧化,吸附還有噴淋,選擇很多。主要看你使用什么氣體了。
現在國內的SCRUBBER里 EBARA的使用比較多,你可以去了解一下。好像愛德華也有。
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