低溫等離子體技術處理污染物的原理為在外加電場的作用下，介質放電產生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發；然后引發一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除。低溫等離子體技術對大氣量、低濃度的污染氣體有較高的處理效率，是性價比非常高的有效處理技術。該方法具有效率高、成本低、設備適應性強、占地面積小、便于操作控制、開停方便、與噴漆工藝同步、可根據污染物源強和排放要求進行升級等優點。

單一等離子體處理有機廢氣效率較高且副產物較少，不會造成二次污染，但其較高的能耗和較低的能量效率是目前需要攻克的難題，等離子復合光催化可以彌補其缺點。等離子體催化劑選用TiO2，其為寬禁帶（Eg＝3.2eV）半導體化合物，只有波長較短的太陽光才能被吸收，激發其活性，所以設計反應裝置的時候需要添加紫外光源。